采用IC传感器的相对湿度测量 谢长江 尤丽华 摘要:在比较各种相对湿度测量方法及传感器的基础上,结合实例介绍了集成湿度传感器的特性及使用方法,指出使用条件的影响因素及补偿途径,给出了带有温度效应补偿作用的相对湿度检测具体实现线路,并提供了检测软件计算的具体表达式,分段实施的对比实验结果,以及检测过程的外界条件限制。 Relative Humidity Detection by IC Sensor Abstract:Based on comparation of relative -humidity detection manners and sensors,the IC relative-humidity sensor and its applied conditions are introduced the factors which influence the detection accuracy and the compensation methods are studied. The actual circuit detection software and the environmental limits in detecting processes are also given. 1 相对湿度检测的传感器特性 表1 常用湿度传感器特性比较 |
活性物质 | 热固聚合物 | 热塑聚合物 | 热塑聚合物 | 热塑物 | AIO3 | 氯化锂薄膜 | 蒸发饱和 |
基底材料 | 陶瓷或硅 | 陶瓷或玻璃 | 聚脂薄膜 | NA | NA | 陶瓷 | NA |
测量参数 | %RH | %RH | %RH | %RH | %RH | %RH | 干湿球湿度 |
变化参数 | 电容 | 电容 | 电容 | 电阻 | 电阻 | 导电率 | 温度 |
RH范围 | 0%~100% | 0%~100% | 0%~100% | 20%~100% | 2%~90% | 15%~<100% | 20%~100% |
RH精度 | ±1%~±5% | ±3%~±5% | ±3%~±5% | ±3%~±10% | ±1%~±5% | ±5% | ±3% |
迟滞 | 1%~3%RH | 2%~5%RH | 2%~5%RH | 3%~6%RH | <2%RH | 很差 | 差 |
响应时间 | 15~60s | 15~90s | 15~90s | 2~5min | 3~15min | 3~5min | 2~5min |
线性度 | ±1%RH | ±1%RH | ±1%RH | 差 | 差 | 很差 | 差 |
温度范围 | -40~185℃ | -30~190℃ | -25~100℃ | 10~40℃ | -10~75℃ | -50~100℃ | 0~100℃ |
温度效应 | 0.0022%RH/℃ | <0.3%RH/℃ | <0.3%RH/℃ | >1%RH/℃ | >1%RH/℃ | >1%RH/℃ | <0.5%RH/℃ |
时效 | ±1%RH/5yr | ±1%RH/yr | ±1%RH/yr | ±3%RH/yr | ±3%RH/yr | ±1%RH/yr | ±0.1%RH/yr |
抗腐蚀 | 优 | 好 | 一般 | 一般 | 一般 | 差 | 一般 |
抗结露 | 优 | 优 | 好 | 一般 | 一般 | 一般 | 好 |
电容式湿度传感器主要由保护层、屏蔽层、电容和电极层及基底组成。传感器工作时,活性电容绝缘层的水气与周围气体平衡,屏蔽层主要使传感器与外界绝缘,减少外界非湿度因素对传感器的影响。保护层在传感器的最外层,用以保证传感器免受灰尘和油污的侵蚀。 电容式传感器的保护层和屏蔽层的渗透性要求非常高,当环境中的相对饱和度(水汽平衡点)变化时,直接影响电容的变化。这种变化具有反应迅速、线性度良好、长时间稳定等特点。在增加一些外围电路后可以很方便地测出电容变化。这是目前电容式传感器测量湿度的普遍形式。 随着传感技术的发展和用户要求的不断提高,传感器生产厂商已在多种传感器上集成了信号调理电路,使传感器本身即能输出可转换或稍加整理即可进行转换的信号,很大程度上方便了用户的使用。Honeywell公司在1997年底推出的硅信号集成湿度传感器IH3605系列即是这种形式。 这种传感器(简称RHICS)把芯片上信号调理与敏感电容结合在一起,使传感器线性输出,其特性被激光修正。当供电电压Vs=5 V、环境温度25 ℃时,在0~100% RH相对湿度范围内将电压输出修正为0.8~3.9 V。由于生产过程的离散性,具体的传感器参数可能有一些差异,厂家出厂时应提供每只传感器的修正参数。对于供电电压Vs在4~9 V范围变化时,输出电压 (1) 其中,Vout为相对湿度Hout时的传感器输出,Vs为传感器供电电压,V0和Vf是在温度25 ℃时、相对湿度为0和Hf条件下的传感器标定输出电压(由厂商出厂时标定数据提供)。 Hr=Hs/(1.0546-0.002 16T);T为温度,单位℃ (2) 式中Hr和Hs分别为实际相对湿度和传感器出值。此式在不同的温度范围会有不同的补偿误差,温度高时较小(T>20 ℃时为±1%),温度低时较大,最大不超过±5%,从某种意义上讲,即可依据(2)式将温度效应产生误差的95%以上补偿掉。 图1 温度效应表面特性图 2 测量硬件实现 图2 测量实现硬件图 3 功能要求及软件实现 其中K=5 /Vs,设常数 (3) 则测量得到的相对湿度: (5) 再由(2)式及测得的温度T可以得出: 依据(3)、(4)、(5)和(2)式编程即可算出带补偿的相对湿度实际值。该测试的实施条件为无结露及相对稳定的环境(微环境动平衡)。 4 实验验证 作者单位:谢长江 尤丽华 无锡市江南大学电子工程系(214063) 参考文献 |