一种基于MEMS的新型压电多模态振动能量收集器概念来供电物联网(IoT)应用中的自主遥感节点

1、原文

A novel MEMS-based piezoelectric multi-modal vibration energy harvester concept to power autonomous remote sensing nodes for Internet of Things (IoT) applications

https://ieeexplore.ieee.org/document/7370550/

2、摘要

物联网(IoT)推动能源自主集成遥感节点的发展和普遍部署。基于微系统（即MEMS）的能量收集(EH)似乎是应对此类挑战的关键技术，环境振动是家庭、工业和公共环境中常见的一种能源。标准振动能量收集器(EH)的一个主要限制是功率转换性能通常仅在基本机械共振频率附近显着（窄带设备）。在这项工作中，我们介绍了一种名为四叶草(FLC)的谐振器设计概念。FLCEH-MEMS具有多个机械自由度(DOF)，在大约200Hz到几kHz的频率范围内表现出多种谐振模式。此后，它能够在很宽的振动频率范围内有效地将机械能转换为电能（宽带设备）。FLCEH-MEMS设计概念讨论得到了仿真和实验测量的证实，验证了其性能，进而支持它可以为物联网场景中的自供电集成传感节点带来的贡献。

3、正文

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4、结论

在这项工作中，我们展示并验证了基于MEMS的振动能量收集器(EH)的设计理念，名为四叶三叶草(FLC)。FLCEHMEMS旨在在从大约200Hz到4-5kHz的宽振动频率范围内将机械性能显着扩展到电力转换性能。这一目标是通过增加FLC圆形设计所特有的机械自由度(DOF)数量来实现的，从而在感兴趣的振动范围内实现多种共振模式。因此，与仅在基本谐振模式（窄带器件）附近高效发电的经典悬臂式EH不同，FLC可以在谐振时达到几W的功率水平，在种模式之间的频率跨度上可以达到几百nW的功率水平。

第一个FLCEH-MEMS制造样品进行了实验测试，ANSYS WorkbenchTM模型预测的耦合场行为（机械和压电）经过测量验证，显示了建模方法的良好准确性并证明了设备的多模态。

下一步工作将包括对FLCEH-MEMS功率转换能力的完整实验表征，从而证明该概念在物联网(IoT)场景中为集成遥感节点供电的适用性。

5、文献