利用matlab计算介质膜反射光谱,利用Matlab计算介质膜反射光谱.pdf

您所在位置：网站首页 > 海量文档

&nbsp>&nbsp行业资料&nbsp>&nbsp实验

利用Matlab计算介质膜反射光谱.pdf3页

本文档一共被下载：次,您可全文免费在线阅读后下载本文档。

下载提示

1.本站不保证该用户上传的文档完整性，不预览、不比对内容而直接下载产生的反悔问题本站不予受理。

2.该文档所得收入(下载+内容+预览三)归上传者、原创者。

3.登录后可充值，立即自动返金币，充值渠道很便利

第27卷第10期 计算机应用与软件 V01．27No．10

2010年10月 andSoftware Oct．2010

ComputerApplications

利用Matlab计算介质膜反射光谱

周成刚

(上海科学院集成电路制造装备研究中心上海201203)

摘要

Matlab在计算介质膜反射光谱中的应用。并结合光刻涂胶实验，利用光纤光谱仪获得实际反射光谱，对该方法进行了验证，实验表

明，该方法可以准确计算介质膜的反射光谱，并可通过反射光谱求得膜厚值，简便、可靠、具有实用性。

关键词 Matlab优化计算反射光谱 菲涅尔公式

CALCULATIONOFFILM

REFLECTIONSPECTRAWITHMATLAB

Zhou

Chenggang

Circuit R&D and

(IntegratedManufacturingEquipmentCenter，Shanghai 201203，China)

Academy矿&ienceTechnology，Shanghai

Abstract FresnelformulabasedonMaxwell and conditionsasthe in

Taking equationsboundary originalmodel，applyingoptimization

S1813resist ofMatlabincalc山ationoffilmreflectionis fi-

Maflab，andusing photo film鹳example。theapplication spec拉a

described．Using

bet to therealreflection in

collect data kindofmethodis resultsindicatethat

spectrometer spectra lithography，this attested．Experimental

thiskindofmethodis incalculationoffilm

accurate reflectionanddeterminationofthicknessfromreflection methodis

spectra spectra．The

and

simple，crediblepracticable．

Matlab Reflection Fresnelformula

Keywords Optimizationcomputation spectra

波水平及垂直方向振幅，n。，n：分别为界面两侧介质的折射系

0引言 数，0。，以分别为入射角和折射角。

对于正入射，即统=以=0，式(1)和

发表评论

请自觉遵守互联网相关的政策法规，严禁发布色情、暴力、反动的言论。

用户名:

验证码:

匿名?

发表评论