zemax迈克尔逊干涉仪_迈克尔逊干涉仪中的压电移相器

作为一种高精密光学仪器，迈克尔逊干涉仪得到了非常广阔的应用，它既可用于测量光的波长，还可用于测量气体或液体的折射率、玻璃的厚度、劈尖的倾斜角度以及测量距离等。

迈克尔逊干涉仪的原理是将一束入射光经过分光镜分为两束后，各自被对应的平面镜反射回来，因这两束光的频率相同、振动方向相同且相位差恒定（即满足干涉条件），所以能够发生干涉。干涉中两束光的不同光程可以通过调节干涉臂长度以及改变介质的折射率来实现，从而能够形成不同的干涉图样。通过调整该干涉仪，可以产生等厚干涉条纹，也可以产生等倾干涉条纹。该原理可用于研制多种测量仪器。

下图为一款搭建好的迈克尔逊干涉仪系统，该系统中采用了芯明天P63.Z压电纳米定位台作为移相器，移相行程为 0~6.8μm，移相的分辨率可达0.1nm，满行程6.8μm运动范围的响应速度为0.3ms，纳米级步进扫描的速度将更快。