作为PERC电池片生产的湿法工序,皮带印、滚轮印等异常成为众多电池生产线的一大通病,上一期已经介绍Etch_过刻解决方案,本期“光伏技术”将介绍刻蚀滚轮印的异常解决方法,期待与您共同进步。
1. 滚轮印的产生
1.1 滚轮印的产生分析刻蚀后或在EL图中出现与刻蚀滚轮位置一致的印记称为滚轮印,主要原因是滚轮异常所致,一是滚轮表面附着的沾污,污染物污染硅片;二是滚轮存在毛刺,造成滚轮硅片表面划伤。
1.2 滚轮印典型形貌特征
如果是通过滚轮摩擦是不可能有滚轮印发生,但刻蚀的滚轮在180度换向的时候和硅片有个滑动摩擦,可根据滚轮印