5 关掉调试_超纯水系统施工及调试

    1 超纯水系统总体介绍

   随着电子工业的发展,在芯片的生产加工过程中,对于水质的要求也越来越高。为了保证生产出超大规模的集成电路,除高纯原材料、高纯气体、高纯化学药品外,高纯水也是其中最关键的因素之一。高纯水系统是将一般的市政用水处理成对不同离子的含量和颗粒度都有很高要求的超纯水。超纯水系统总体来说一般可分为三个部分:超纯水制造区(CUB部分)、超纯水抛光循环区(FAB部分)、超纯水输送管网(FAB各使用区)。其中超纯水制造区最为复杂,其又可分为:预处理、一次纯水处理、超纯水处理三个部分。预处理部分主要包括:沙滤、活性碳塔(有的厂商在沙滤前还增设反应槽、气浮池);一次纯水处理部分主要包括:阴阳离子交换塔、脱气塔(DG)、保安过滤器、紫外线杀菌器及多级反渗透;超纯水处理部分主要包括:MDG(脱氧膜组)、TOC-UV杀菌器、混床(MB)及终端过滤器。考虑到在向工艺设备输送高纯水过程中,输水管道会对水质再次造成污染,因而在FAB内一般都设立抛光循环系统。抛光循环系统主要以MB为核心,再加上超滤设备(UF),以除去在向工艺生产线输送纯水的过程中,管网溶入水中的杂质。

    2 超纯水系统中各阶段常用管材

       在超纯水系统中管材的选用也非常重要,既要能做到保证水质、又应该做到经济合理。超纯水系统中常用管材主要包括:PVC、SGP、SGP(RL)、SUS304、CPVC、SUS316及PVDF等管材。一般在超纯水制造区预处理阶段多采用PVC管或SUS304管。设备面管一般采用内衬胶钢管(SGPRL),对于水泵等产生震动的动力设备周边采用SUS304管;在一次纯水阶段主流程采用CPVC管或SUS304管。高压泵与反渗透(RO)之间,由于压力高所以必须采用SCH80的SUS304管及耐压2.0MPa级的法兰。由于RO对水温有一定的要求,因而一般在RO之前有热交换器,其周边也应该采用SUS304管;在超纯水制造阶段,主流程一般应采用SUS316管和CPVC管;抛光循环区主流程一般采用SUS316管(焊接连接,并要求双面成型)和PVDF管,超纯水回收管道采用CPVC管。在以上水处理各阶段废水排放管道均采用普通PVC管;在纯水制造过程中酸碱等加药管线,应采用耐冲击PVC管;纯水系统中使用的氮气系统采用SUS304管,超纯水抛光系统所用氮气管道采用SUS316管;压缩空气系统在纯水系统中作为气动阀开关动力,一般采用SUS304管或SGP管,当采用SGP管时进入电气盘前需加过滤器。

    3 超纯水系统施工

       超纯水系统水站部分施工难度最大,其主要包括三个部分:设备的搬入及安装、共用管架(简称共架,下同)的制作安装以及管道的安装。设备的搬入一定要注意编制详细的设备吊装方案,特别是对于超重、超大、易损设备,千万不可以野蛮冒险施工。共架的施工要注意两个环节:①共架与土建结构连接处一定要坚固,最好采用预埋铁板。若因种种原因不能预埋,则应用化学铆栓固定在梁上,不应使用一般的简易膨胀螺栓。切不可用铁板和简易膨胀螺栓固定在楼板上;②整段管架一定要保持水平,以免管道与共架接触部位由于应力不均匀引起管道弯曲破损。水站的管道施工除CDA、氮气及热交换器用的蒸汽或冷热水管道可以按系统进行施工外,其他站内管道施工可分为两大部分,即共架管道施工和设备周边配管施工。开工初期两部分可以同时进行施工。当共架直管段与设备本体配管完成之后,应该从设备周边管道向共架管道进行连接配置,最终与共架管道相连形成封闭的管路系统。超纯水系统管道施工与其他一般动力管道施工有很大区别,它除了要保证管道系统的密闭性外,还有更加重要的一点,就是要在施工过程中一定要保证管道的洁净。

    4 超纯水系统管道施工

       超纯水系统中CPVC(氯化聚氯乙烯)和PVDF(聚偏二氟乙烯)管道特殊的施工工艺。

       CPVC和PVDF管材在金属离子及有机碳的析出、无微细粒子、无活菌繁殖等方面,都能满足超纯水系统的要求。管材及附件的加工封装都是在超洁净环境中进行的,因而这两种管道的施工也有一定的特殊性。CPVC管道粘接应采用日本产85号塑料管用胶水。管道切割应采用电动带锯式管道切割锯或旋转式割管器,尽量避免用手锯(因为手锯切管管端毛刺多难处理)。切口的毛刺一定要清除干净,且要对管端进行2～3mm的倒角,以免粘接时胶水被刮入承口内,造成因人为施工不当减小粘接面使管道粘接部位泄漏。管件和管道粘接面涂胶一定要均匀,涂胶前对管件的内面及管道的外面先用白布去除外表灰尘,再用无尘布蘸丙酮进行脱脂清洗。此外更重要的一点就是CPVC管道的洁净施工,这也是它与其他普通PVC管道施工的最大区别。CPVC管道粘接施工严格的说应该在洁净间内进行,而后再采用法兰在现场连接。但由于施工现场的种种特殊情况,管道往往要在现场进行下料粘接安装。但需注意在现场施工时,施工区域要相对干净(不得有很大的灰尘)。粘接施工时禁止在地面上进行,应在

   加工平台上进行粘接操作。施工时一定要戴上专用洁净一次性手套,施工过程中禁止徒手接触管道的内壁(因为手上的油脂粘在管内壁很难冲洗干净)。管道在插入时使用紧线器,并划线以确认插入的深度是否足够。法兰间密封材料应用PTFE(聚四氟乙烯)。堆放场所需要垫上彩条布或塑料薄膜对管道进行保护。

       PVDF管道全部采用焊接连接。在施工过程中,更要注意洁净,同时对于施工环境的要求更加严格。PVDF管道焊接必须在洁净小室内进行,不得在一般的房间内进行施工。进入洁净加工间必须换上专用鞋,管口及附件在洁净间外必须封口不得外露。对于管件的包装材料必须在施工前才能开封,在焊接操作时必须带好一次性洁净PVC手套,焊接前必须用异丙醇、酒精或丙酮对管端进行脱脂、清洗。清洗用布要采用无尘洁净布,不干净的无尘布要及时更换。辅助焊接的人员也须带上洁净棉手套。对于每一个焊口,焊完之后必须及时进行外观检查,要求焊口四周的焊露高低均匀并高于管道外壁。在PVDF管道焊完之后必须及时对管口进行封扎,再运到现场采用法兰连接,法兰间的密封材料采用PTFE。管道安装时先在现场量取尺寸绘制详细的安装加工图,再由专人进行管道焊接加工。焊接、安装人员各负其责以提高工作效益。

    5 总论

   总之,在超纯水系统施工过程中,除了要满足管道系统的密闭要求外,更重要的就是要注意提高施工人员的洁净意识,使他们能自觉的按照洁净管道施工要求去做,根据水处理不同阶段的不同要求进行施工,以避免因施工不当对管道造成污染,使得处理水质达不到业主要求,引起质量事故的发生。

10T/H超纯水系统调试方案

一、设备调试需具备条件：

1、 原水(业主提供)：

1.1连续运行时原水供给量: ≥10吨/小时；

1.2叠片过滤器产水量:≥48吨/小时；

1.3超滤产水量:≥45吨/小时；

2、 供电：纯水站  ：380VAC50HZ、功率：110 KW

3、 压缩空气气源：

3.1连续输送无油压缩空气压力:0.7MPa；

3.2压缩空气管道直径:≥DN20。

4、 氮气气源：

4.1氮气纯度: 99.999%；

4.2连续输送高纯氮气压力:0.4Mpa；

4.3输送高纯氮气管道直径：≥DN20；

5、 换热器热交换的热媒：70℃热水进，50℃热水回

因RO膜的透水率随温度的降低而降低，故预处理工艺增设热交换设备，将冬季低于常温的水(最低约8度℃)提升至20-25℃。

备注：如上述条件具备，请提前一星期通知我公司，以便我公司提前安排滤料及膜等材料的发货。

二、 调试日程安排：总的调试时间,为24天

1、 电气系统调试需5日：此项工作应与下面2-6项工作同时进行。

2、 原水箱的清洗及漏水检测(水箱里充满水后保持24小时不漏现象)；

3、 预处理系统的调试：3日完成：

3.1  叠片过滤器冲水清洗；

3.2  超滤冲水清洗；

3.3  超滤水箱的清洗及漏水检测(水箱里充满水后保持24小时不漏现象)；

4、 反渗透系统的调试：4日完成：

4.1反渗透膜壳的冲洗；

4.2反渗透膜的装填；

4.3反渗透系统的调试。

4.4一级RO水箱的清洗及检测(水箱里充满水后保持24小时不漏现象)；

5、 EDI系统的调试：3日完成：

5.1  中间水箱的清洗及检测(水箱里充满水后保持24小时不漏现象)；

5.2 254UV装置检查、过滤腔体的冲洗与254UV灯管的装填；

5.3 EDI系统管道的冲洗；

5.4 EDI膜块调试。

6、 抛光混床系统的调试：3日完成

6.1 超纯水箱的清洗及检测(水箱里充满水后保持24小时不漏现象)；

6.2 185TOC装置检查、过滤腔体的冲洗与185TOC灯管的装填；

6.3 抛光混床罐体的清洗；

6.4 抛光混床树脂的装填；

6.5 0.22微米过滤器的清洗与0.22微米过滤芯的装填。

7、系统总调试：7日完成

7.1大循环管道的清洗；

7.2 大循环管道的水压测试(循环管道各用水点阀门及回水管道阀门关掉，然后启动纯水泵来纯水循环管道打水，泵出口压力5公斤压力时，泵出口阀门关闭，观察12小时不漏现象);

7.3 纯水大循连续运行。

8、设备操作人员培训：2日完成

8.1  业主需在设备开始调试阶段安排操作人员进行见习纯水系统的调试过程；

8.2   理论培训：2日完成。

8.3   调试人员3名：工艺调试工程师1，人安装调试工程师1人，电器工程师1人，

三、系统调试大纲：

1调试前的准备工作：

1.1、化学药剂的准备工作：调试期间所需以下药剂，由我公司提供。

1.1.1   NaClO(杀菌剂)溶液：0.5-1PPM；

1.1.2   NaHSO3(还原剂)溶液：1.5-3PPM；

1.1.3   阻垢剂溶液：3-5PPM；

1.1.4   NaOH(碱)溶液：0.1-10PPM；

说明：

a.以上化学药品同视为100%浓度；

b.配置方法(建议配置药剂采用反渗透以后产水配制)：

①.取烧杯一个，调节好计量泵冲程后，计算出每小时计量泵输出      的药液量，此过程系计量泵校正过程。

②.根据系统进水量、药品配比浓度,计算出系统运行一小时所需药量；

③.根据药品的实际浓度，计算出每100L水中所需加入的药量

④.根据实际加入药箱的水的体积，乘以每100L需要加入的药量算出需要加入的药量的总数，加入后搅拌混合均匀。

1.2、电控系统初步调试：

1.2.1检查三相电源进线电压、电流是否符合系统运行条件，接地线是否按要求接至电控柜内，合上总电源前检查电控柜内接线是否有误，确认无误后，合上总电源。

1.2.2检查保护系统接线。

1.2.3检查配电柜及电器元件有无损坏。

1.2.4对电器系统的接线进行检查、确认接线无误、接线压实。

1.2.5检查高压泵以及其他水泵转向是否正确，接线是否良好，电流及转速是否与水泵参数相符等。

1.2.6检查各阀门和计量泵，是否动作准确无误。

1.2.7确认管道上各阀门在正确位置，记录系统运行参数。

1.2.8校准计量泵实际加药量，并进行记录。

1.2.9检查各设备之间联锁，是否动作准确无误。

2、 预处理设备的调试：

2.1、叠片过滤器的调试：

1)确认过滤器管道已固定连接完毕，且确认无损坏；

2)确认各阀门安装方向正确；

3)打开叠片过滤器进水阀与出水阀，启动原水泵，向超滤补水。

2. 2超滤的调试：

2.2.1 超滤自动运行和自动反洗：

2.2.2检查各手动阀门在正确位置;

2.2.3超滤系统自动运行条件：

2.2.4压缩空气压力大于0.5MPa；

2.2.5 原水箱液位在中位以上；

2.2.6 UF产水箱液位低于中液位；

2.2.7 原水泵、超滤反洗泵选择开关置于"自动"位置；

2.2.8超滤就地柜上运行指示灯亮。

2.2.9  超滤的反洗:

超滤有三种工作状态：运行/备用/反洗其三种状态的切换可由设在UF LCP盘上按钮进行操作。UF反洗工作方式有两种：水洗和药洗。水洗若干次(可设定)后进行一次药洗。UF反洗的每一步时间均可在触摸屏上进行设定。两种反洗方式的运行/反洗状态阀门开启规律见下表：

UF水洗操作程序如下：  

a.UF水洗操作程序如下

b.UF药洗操作程序如下：超滤过滤时间为40~120分钟(视原水水质一般)。其过滤时间即累计运行时间和每一步时间，在触摸屏画面上可以直观读出。当过滤时间均达到后， 超滤自动进入反洗程序，反洗结束后自动转入运行。

2.2.10、开机操作：

    将原水泵，UF反洗泵状态选择开关置于"自动"，此时若原水箱液位高于中液位，超滤产水箱液位低于中液位时，原水泵会自动开启，原水泵→板换→叠片过滤器→超滤→超滤产水箱。当超滤产水箱液位由于过滤水的进入而逐渐升高，当液位升高至高液位，原水泵自动关闭。

注意：其中原水泵，超滤反洗泵都必须至于"自动"状态，否则预处理系统无法自动运行

2.3中间水箱的清洗

2.3.1用无纺布将水箱内壁檫洗干净；

2.3.2 用超滤产水冲洗水箱出水清澈透明无异物为止

2.3.3 打开超滤水箱的进水阀门，运行预处理系统，向RO水箱补水。

3、反渗透系统的调试：

3.1 RO膜壳内壁的冲洗：将叠片及超滤阀门至运行位置，开启RO浓水排放气动阀门，分别对RO膜壳进行冲洗半小时以上。

3.2 拆开膜壳端板封头，检查密封圈等是否完好，内壁是否干净，并进行相应的处理。

3.3戴上塑胶手套或一次性手套，拆开RO膜，检查膜和膜密封圈的完整性，然后按照水流方向将RO膜及接头依次装入压力容器中，并原样装上端板封头。

3.4 将所有的RO膜装入压力容器中。

3.5 对RO膜进行低压冲洗1小时，将RO膜中的保护液冲洗干净，

3.6 浸泡RO膜24小时以上。

3.7开启RO系统，调节运行流量至设计流量；

3.8调节一级RO高压泵进水加碱装置,至二级RO系统产水电导率至最低值；

3.9连续运行RO系统，并对系统进行微调；

3.10  一级 RO水箱及中间水箱的清洗：

3.10.1用无纺布将水箱内壁檫洗干净；

3.10.2 用RO产水冲洗水箱出水清澈透明无异物为止。

4、 电去离子(EDI)系统的调试：

4.1、185TOC检查：

4.1.1确认254UV检查外观整洁，且确认无损坏；

4.1.2确认接线正确并压实；

4.1.3 确认管道连接无泄漏。

4.2、EDI电去离子试运行：

4.2.1设备投运前的准备工作：

1)确认进入RO产水水质满足上述条件；

2)拆下EDI进水管道，并对管道进行冲洗；

3)全面检查EDI膜块两端板的紧固螺栓是否全部锁紧；

4)检查膜块的直流电源接线是否正确；

5)检查确认中间水泵的电机运转方向是否正确；

6)检查各个仪表工作电源是否符合设备要求；

7)设定各流量限位开关最低值(浓水排水)。

4.2.2设备的投运：

1)检查各个调节阀门是否处于开启状态；

2)启动中间水泵向膜块注水至产水流量计、浓水给水、浓水排水流量计有水通过；

3)调节产水、浓水进水、浓水排水之流量，使之符合设计流量；

4)开启EDI电源，连续运行使EDI产水电阻率符合设计质；

4.2.3氮封纯水箱的清洗：

1)用无纺布将水箱内壁檫洗干净；

2)用EDI产水冲洗水箱出水清澈透明无异物为止。

5、 抛光混床系统的调试：

5.1、185TOC检查：

5.1.1确认185TOC检查外观整洁，且确认无损坏；

5.1.2确认接线正确并压实；

5.1.3 确认管道连接无泄漏。

5.2、抛光混床的调试：

5.2.1抛光混床前管道的清洗：打开混床进水阀门的活接头，启动纯水输送泵，冲洗管道里的异物。

5.2.2抛光混床的清洗：打开各抛光混床的进出水阀门及排放阀，启动纯水输送泵向各抛光混床补水：

1)确认抛光混床各阀门安装的方向正确否；

2)确认抛光混床管道连接无任何滴跑渗漏现象；

5.2.3待流出水清澈透明，电阻率≥0.5MΩ•cm(at25℃)为止，关闭输送泵。

5.2.4抛光树脂的装填：

1)吸出各抛光树脂内的纯水并剩余1/4混床容积的水。

2)打开各抛光混床的进料封顶盖，向抛光混床内缓慢填充树脂；

3)树脂填充完毕后将封盖固定紧，使之密封；

5.2.5抛光混床试运行：

     1)确保各相应的进出阀门、混床的总阀排放是打开状态。

     2)待混床总阀排放水的电阻率≥18MΩ•cm(at25℃)为止。

5.3、0.22微米过滤器滤芯的装填：

5.3.1确保以上工作完成以后，即可对0.22微米过滤器滤芯进行装填。

5.3.2装填前，需用洁净的无纺布将该过滤器内壁清洗干净.

5.3.3再用混床出水进行冲洗，至桶体内无明显杂质为止。

5.3.4戴上塑胶手套或一次性手套，拆除滤芯外包装，即可0.22微米过滤器滤芯装填过滤器容器内。装填完毕，进行密封，并试水，桶体密封无泄露即装填完毕。

5.4、大循环管道及氮封纯水箱的清洗：

    1)打开大循环回水排放阀；

    2)运行抛光混床系统；

    3)确认大循环管道无任何滴跑渗漏现象；

6、系统总调试：

6.1联机自动及相关功能调试：

6.1.1 液位与设备自动运行的连锁；

6.1.2 系统故障及报警功能调试；

6.1.3 水泵电流整定调试。

6.2触摸屏的调试：

6.2.1 触摸屏与PLC的功能调试；

6.2.2  触摸屏的报警功能调试。

四、培训大纲：

1、现场操作与调试培训：每天8课时，2天，总16课时完成。

此培训过程主要是为了让操作人员了解与掌握各系统工艺相关执行部件的操作过程与动作过程，灯管及滤芯装填方法，培养对系统形成“正确的”操作步骤；了解与掌握系统化学药品配置及使用方法；

了解与掌握系统常见故障的应急处理方法；了解与掌握系统在操作过程中的注意事项；掌握如何做好设备记录并判断分析各个系统运行是否正常。故建议操作人员能一直跟随调试全过程。

培训内容：

(1)叠片、超滤、反渗透、EDI电去离子系统工艺的结构、安装及操作；

(2)过滤器膜片及滤芯装填方法；

(3)化学药品的配置使用及注意事项；

(4)记录设备初期运行参数，制作表格，并学会如何对设备运行情况进行判断。

2.理论培训：每天8课时，1天，总8课时完成。

在上述培训基础上，对系统工作原理进行系统的理论培训，以便更好的服务于实践操作。

培训内容：

(1)水化学基础知识介绍；

(2)水处理专业技术术语简介；

(3)纯水制备工艺介绍：叠片过滤器、超滤、微滤、反渗透、EDI电去离子，紫外杀菌器等；

(4)系统加药原理及介绍；

(5)系统的判断、清洗方法；

(6)系统操作维护及常见故障排除方法

3.设备试运行期间培训：每天8课时，2天，总16课时完成。

此培训过程是为了巩固理论培训知识，此阶段要求设备需连续运行，所有操作及记录均由操作人员来完成，培训人员现场指导，规范操作人员操作方法，并对现场设备运行参数进行调整，稳定设备运行，此过程是设备由静态转变为动态直至正常运行的关键过程，通过此过程培训，可以使受训操作人员了解到设计、设备与安装之间的关系。在调整实践中要求培训人员准确地记录系统及其各个环节的调试数据、参数，认真观察设备运行状态。在培训期间,培训人员应做到“四勤”“一动”；四勤：勤看、勤听、勤问、勤做记录；一动：在了解设备与调试人员的指挥下多动手。

培训内容:

(1)设备运行参数记录及判断；

(2)单体设备之间的控制及调整方法；

(3)设备出现故障及处理。

五、纯水系统的考核与验收：

1、 自检：

完成系统总调试工作，全套系统连续运行72个小时后，对纯水系统总出水进行水质分析化验，当全部测试参数达到验收标准技术指标的规定数值，双方签署《纯水验收合格证书》。

2、验收标准：

1、锅炉补给水、冷冻补水(一级RO水): 20m3/hr(峰值); 

2、工艺清洗用水(一级RO水)：7m3/hr(长期用水)；

3、工艺设备冷却水补水(二级RO水): 6m3/hr；

4、 18兆超纯水:13m3/hr(含大循环回水3 m3/hr)。超纯水电阻率：≥18MΩ•cm(at25℃),其它指标满足电子级水国家标准EW-I标准规定的各项技术指标。