太阳电池板特性实验_背钝化膜特性对PERC单晶硅太阳电池的影响研究

      研究了氧化铝膜与氮化硅膜厚度，以及氮化硅折射率对PERC 单晶硅太阳电池电性能的影响，结果表明，氧化铝膜较薄、氮化硅膜较厚时，PERC 单晶硅太阳电池的Voc 与Isc 明显提高，电池效率提升明显；并且结合不同工艺参数的少子寿命及量子效率，证明了背钝化膜钝化作用的优势。

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实验

      实验中所使用的单晶硅片是目前各厂家量产的主流硅片，其规格为：p 型单晶硅片，尺寸为156.75 mm×156.75 mm，电阻率为1～1.5Ω•cm，厚度为180 μm。此单晶硅片采用PERC太阳电池工艺流程制备，即制绒、扩散、碱抛光、热氧化、背面镀氧化铝膜及氮化硅膜、正面镀氮化硅膜、激光刻槽、印刷烧结，然后对制备的PERC 单晶硅太阳电池进行电性能测试。

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结果与讨论

        

      2.1 碱抛光

      不同于传统PERC 单晶硅太阳电池生产中的酸抛光工艺，本实验中的单晶硅片采用的刻