EBSD技术原理及系统.PDF
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EBSD技术原理及系统
康 伟
2008.10 西工大
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EBSD —— 扫描电镜附件之一
• 安装于电子显微镜 (场
发射或钨灯丝电镜)或者
电子探针上的EBSD系统
示意图
• 一般来说,EBSD探头垂
至于电子束光轴和样品台
倾斜轴安装
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EBSD: Electron BackScattered Diffraction (Detector)
电子背散射衍射(探测器或分析系统)
EBSP:Electron BackScattered Patterns
电子背散射衍射花样(Kikuchi bands 菊池带)
OIM: Orientation Imaging Microscopy
取向成像显微技术
另外较早时还可能见到BKD、BEKP 、ORKID等说法
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EBSD技术的由来与沿革
EBSD分析的技术背景
EBSP的产生机理与标定过程
EBSD应用领域及举例
EBSD的系统构成
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1928年Seishi Kikuchi 第一次观察到了
电子衍射形成的Kikuchi花样。
'P' pattern of calcite (Kikuchi, Japanese
Journal of Physics, V, 2, 1928.)
Thanks to Robert Schwarzer for the image
'P' pattern of mica (Kikuchi, Japanese
Journal of Physics, V, 2, 1928.)
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1954年,Alam, Blackman, Pashley. ‘High angle Kikuchi patterns.’
Proc. Royal Society of