一帧图像最多有几种不同颜色_用于光刻成像的DMD图像曝光方法研究与实现(6.36.4)...-CSDN博客

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本文探讨了一帧图像的颜色限制，并介绍了针对DMD(Digital Micromirror Device)图像曝光的改进方案，通过灰度帧频测试结果展示其提升效果。北京闻亭泰科技术发展有限公司，作为TI合作伙伴，专注于DLP技术，其产品广泛应用于3D打印、机器视觉等领域。

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6.3 DMD高速图像曝光实验 6.3.1 DMD曝光成像实验结果分析上节通过实验验证主要功能模块DDR2控制接口及DMD控制接口的设计之后，开始进行DMD的图像曝光实验。首先采用标准测试图像对DMD的曝光成像功能进行实验测试。 DMD属于高精密的器件，实际用于光刻曝光时需要均匀的光源照明以获得更好的曝光效果，以下DMD的实际曝光图像在实验室白炽灯和自然光照条件下所拍摄。需要说明的是，受限于实验时的光线、相机参数等因素的影响，拍摄的图像效果并没有DMD实际曝光成像的效果好。

图6.6DMD曝光成像结果如图6・6所示为本文使用标准测试图像对DMD曝光成像功能进行验证的实验结果。图中(a)和(b)为等间距线条标准测试图像，(c)为标准Ronchi光栅测试图像， (d)为TI提供的标准测试图像，(e)、(f)、(g)、 (h)分别为DMD上对应的曝光成像结果。由结果可以看出，DMD成像效果理想。 6.3.2高速扫描曝光成像实验结果分析通过标准测试图像完成对DMD基本曝光成像功能的验证之后，进行DMD高速扫描曝光成像实验。DMD扫描曝光成像是一个动态的过程，下面以实验过程中拍摄的图像进行说明。如图6-7所示为本文使用高速图像曝光方法的DMD扫描曝光成像实验结果。受于篇幅所限，选择原始图像的一个扫描带的部分图像进行说明。图中原始图像为经过预处理后得到的与DMD像素等宽度的部分扫描带图像，图像大小为 1024x3072,相当于4个DMD微镜阵列。在高速扫描曝光模式下，对此扫描带完成扫描需要控制DMD按行滚动刷新3840次，图中a、b、c、d、e、f为扫描过程中的六个时刻DMD上所呈现的曝光图像。可以看出，DMD的扫描成像效果较为理想。

图6.7DMD扫描曝光实验结果图 6.3.2高速扫描曝光帧频测试本文的主要目的是研究并实现DMD高速图像曝光，以提高现有光刻设备扫描曝光的效率。如图6-8所示为DMD在工作高速图像曝光方法下的二值图像扫描帧频测试结果。实验时在FPGA功能代码中设置一个状态信号，在完成一帧二值图像曝光完成时将状态信号置为高电平，在下一帧二值图像开始进行数据加载操作时将状态信号置为低电平，将状态信号通过开发平台的扩展IO接口输岀，使用示波器对输出信号进行测试。由图可知，输出脉冲信号的周期约为105us，因此DMD 高速曝光方法下二值图像的最大帧频为9520Hz,远大于现有数字光刻系统直接使用上位机软件传输所有曝光图像方式下的曝光速率，完全满足实际数字光刻曝光时工件台高速扫描的要求。

图6.8DMD高速图像曝光帧频测试图 6.4 DMD灰度图像曝光实验本文对灰度图像曝光方法的研究主要是为了使用DMD完成灰度光刻，并提高 DMD扫描式灰度曝光的效率，这也是后续开发扫描式3D数字光刻机的基础。本节通过具体实验对设计的DMD灰度图像曝光方法进行验证，并对扫描灰度曝光的帧频进行测试。 6.4.1灰度曝光成像实验结果及对比 DMD灰度曝光成像实际是通过灰度调制方式控制灰度图像的各个位平面依次曝光的结果。为了测试DMD的灰度曝光成像功能，利用单帧灰度测试图像进行循环显示。由于采用实际拍摄的图像进行说明，当灰度帧频达到“视觉暂留”要求时，灰度图像呈现在DMD上。需要指岀的是，此时DMD并非静态成像，而是采用最高帧频方案(一帧灰度曝光结束信号即为下一帧灰度曝光的触发信号)对 DMD进行调制。

图6.9DMD灰度曝光成像效果对比如图6-9所示为对采用传统BPWM灰度调制方案和本文改进的灰度调制方案下的进行DMD灰度曝光成像测试的实验对比结果。实际测试中使用8位(256阶) 灰度图像对DMD灰度成像功能进行验证。图中左侧(a)和(d)为原始的标准灰度测试图像。图中(b)和(c)分别为DMD工作在传统BPWM灰度调制方案下对应的灰度曝光成像效果，(e)和(f)分别为DMD工作在本文改进的二元脉冲宽度灰度调制方案下对应的灰度曝光成像效果。可以看出，两种方案下DMD灰度成像都接近原图, 并且改进方案下的灰度成像质量与传统BPWM调制方案的成像质量相当，并没有出现的下降的情况。实际上，在采用基于二元脉冲宽度调制方式对DMD进行灰度调制时，只要控制灰度图像的各个位平面的曝光时间严格遵循调制原理，DMD的灰度曝光成像的效果就可以满足要求。反而在灰度帧频较低的方案下可能会出现闪烁、不稳定等情况。因此可以看出，本文对传统BPWM灰度调制的改进方案及基于FPGA的设计效果都较为理想。 6.4.2灰度曝光帧频测试结果及对比在对DMD灰度图像曝光帧频测试实验中，分别传统二元脉宽灰度调制方案和本文改进的灰度调制方案下DMD动态刷新8位灰度图像的最高帧频进行测试。采用与二值图像帧频测试类似的方式，在两种方案的FPGA功能代码中设置一个状态信号，在完成一帧8位灰度图像的最后一个位平面的曝光时，将状态信号置为高电平，在下一帧灰度图像的第一个位平面开始进行数据加载操作时将状态信号置为低电平，使用示波器对输岀的状态信号进行测试。

图6.10 DMD灰度图像曝光帧频测试结果对比。(a)传统BPWM调制方案下DMD

灰度帧频测试结果；(b)本文改进方案下DMD灰度图像曝光帧频测试结果

如图6-10所示为DMD灰度曝光帧频测试结果。由图可知，DMD工作在传统 BPWM调制方案下输出脉冲信号的周期约为26ms,对应灰度曝光实测帧频为 38.4Hzo。DMD工作在本文改进的灰度调制方案下输出脉冲信号的周期约为2.8ms, 因此DMD灰度曝光的实测帧频为357.1Hz。可以看出，在实际开发中采用本文改进的灰度调制方案获得的动态灰度图像曝光帧频相对传统方案有很大的提高。需要说明的是，传统方案和本文改进方案下实测帧频均小于第四章分析中对应的理论值。这是由于为了分析获得最优的灰度调制方案，避免实际开发采用的硬件设备的不同等因素，理论分析时的条件都是理想的，使用的数据加载时间为理论时间，实际对动态灰度图像进行曝光调制时还需要考虑到获取曝光图像数据所需要的时间，本文中即为从内存中获取图像数据和进行曝光图像处理的时间，这部分的时间在实际开发时因采用硬件的差异而不同。对于本文设计中采用的 DDR2,由于其操作时钟和数据传输速率等因素的限制，完成一帧曝光图像处理的时间要大于实际向DMD进行数据加载的时间，因此两种方案下实际帧频小于理论帧频是必然的。由实际帧频测试结果可以看出，考虑设计中对DMD曝光图像处理的时间之后, 本文改进灰度调制方案更适用于实际开发。本文通过实际对曝光图像处理过程的优化及对灰度调制方式的改进获得尽量获得更高的灰度曝光帧频，并且曝光速率同样远高于现有DMD数字光刻系统直接使用上位机软件传输曝光图像的方式，也验证了本文对DMD灰度图像曝光方法改进的有效性。

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