matlab非球面方程,一种基于Matlab的非球面光学元件面形参数测试技术

第36卷 第4期 红 外 技 术 V ol.36 No.4 2014年4月 Infrared Technology Apr. 2014

〈测量技术〉

一种基于Matlab 的非球面光学元件面形参数测试技术

尤 越，王乔方，字正华

(昆明物理研究所，云南 昆明 650223)

摘要：提出了一种接触式轮廓仪测量非球面参数的新方法，该方法通过在传统的二维接触式轮廓仪

基础上增加旋转，从而实现了三维测量。为了验证新方法的测量准确性与可行性，文中使用ZYGO 干涉仪对旋转对称球面进行检测，与新方法的检测结果加以对比。最后，使用新方法对非球面光学元件的面形参数进行测试，分析结果表明新的测量方法具备较高的测试精度，满足测量要求。 关键词：非球面面形参数；接触式轮廓仪；ZYGO 干涉仪；测试精度

中图分类号：TN214，TH74 文献标识码：A 文章编号：1001-8891(2014)04-0331-05

A Test Technique of Surface Shape Aspheric Optics Parameters Based on Matlab

YOU Yue ，WANG Qiao-fang ，ZI Zheng-hua

(Kunming Institute of Physics , Kunming 650223, China )

Abstract ：This paper proposes a new method to measure contact profilometer aspherical parameters. The method adds a dimension to the convent