基片集成波导原理_清华大学研究团队：基于波导上集成化超构表面的多功能耦合器与涡旋光发生器...

导读

近日，清华大学的研究团队与美国麻省理工学院、深圳大学和南开大学的合作研究者们，通过在氮化硅光波导上制作硅纳米天线阵列，将超构表面的概念进一步拓展到了集成光学，设计了多种功能强大的波导耦合器与拓扑荷可控的涡旋光发生器。相关成果以“Versatile on-chip light coupling and (de)multiplexing from arbitrary polarizations to controlled waveguide modes using integrated dielectric metasurface”为题，发表在国际知名光学期刊《Photonics Research》上。

图1(总图). 片上集成的涡旋光发生器。(a)与(b) 器件结构示意图。(c) 工作原理图：通过混合有π/2相位差的TE₀₁与TE₁₀模式来产生OAM。(d) 器件实际输出光场的理论计算图。

研究背景

超构表面(metasurface)一般为一系列光学散射体组成的阵列，可通过控制亚波长尺度下光学天线的微结构来对电磁波的相位、偏振、传输等进行灵活的控制。但是，针对超构表面的传统研究多集中于自由空间的光学元件，将超构光学应用到波导上来制作集成光电子器件的研究仍然较少。

目前有少量将光学天线应用于波导上来制作光耦合器的尝试，但是功能相对单一，只能工作在线偏振或圆偏振入射光的特殊情况下，适用于任意椭圆偏振光的系统的设计方法尚未被总结或提出。此外，此前的工作还存在耦合效率较低、耦