转自微信公众号：柔性电子服务平台
原创作者：竹
在使用微电子打印机进行制备电子器件的时候，通常需要对打印基底进行一些前处理工作。值得注意的是，根据我们的经验，前处理具有非常重要的作用，经过适当的前处理工艺，可以极大改善薄膜的打印精度和平整度。在我们之前的推文中《印刷电子制备工艺会用到哪些预处理方式？》的推文中有详细介绍印刷电子的一些前处理的目的与相应工艺，感兴趣的读者可以阅读了解。
本文中，我们针对我们的研发经验，以紫外臭氧的前处理方式为例，介绍一下印前处理对于喷墨打印薄膜的分辨率、均匀度等薄膜性能的影响因素。
本次实验的打印机为幂方科技研发的微电子打印机，功能墨水为无颗粒型银导电墨水，BASE-CP12，所用衬底为柔性电子常用的PET、PEN等。
对于基底没有经过任何前处理工艺，直接进行喷墨打印制备，打印线宽为130um左右，间距最小能够达到30um左右。通常这个线条的精度能够满足大部分的电路或器件电极的需求。
而使用紫外臭氧的综合前处理方式对于PET衬底进行表面处理后，打印的导电电路线宽精度提高到100um，相比较与未处理工艺，线宽精度有了明显的提升。
前处理工艺不但能够改善墨水的打印精度，同时线间距也有了明显的改善，甚至在良好的喷墨条件下，线间距甚至能够达到10um。
当然，针对不同的基底材料，后处理工艺的影响效果也有明显不同，比如采用表面平整性更好的基底材料，再结合适宜的前处理工艺，打印的导电线路最细可以控制在60um左右，而且线边缘特别均匀。
本次实验中主要以紫外结合臭氧工艺来说明前处理工艺对于打印效果的影响情况，所谓的前处理工艺不仅限于此，还有等离子处理、电晕工艺以及薄膜分子修饰等工艺。前处理工艺大部分情况下能够明显改善打印效果，甚至良好的前处理方式能够帮助实现高打印精度的柔性电路打印。
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