热式气体质量流量计检定规程_气体质量流量计推荐

MFM50系列气体质量流量计

Xinnovis MFM50系列气体质量流量计专门用于气体流量的高精度测量。该系列气体流量计采用业内先进的流量传感芯片，结合航空铝材抛光气体流道设计以及公司核心的标定和补偿算法，实现对各类清洁、干燥气体的高精度流量检测。该系列产品常规测量精度为1%，量程比达到500:1，量程从0-20sccm到0-100L范围内任意可选，并配有液晶显示、数字输出，方便用户现场和远程调试。该产品成本低、易安装、不需要额外温度和压力补偿，可替代热式毛细管等传统流量计使用。

MFC-T系列气体质量控制器

青岛芯笙公司MFC-T系列质量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC）是基于业内最为高端的微机电流量传感器芯片，结合公司所开发的高速采样和数字补偿算法，所开发的一款智能化、高精度的气体质量流量控制器产品。该产品配备有进口电磁比例阀、316L不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片等，具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。在输出方面，带有工业级液晶触控显示屏，具备流量设置、气体种类切换、瞬时流量和累积流量显示等功能。输出信号可选择：4-20mA和1-5V模拟信号，以及RS485数字通信方式。

MFM-T系列气体质量流量计

MFM-T系列质量流量计采用业界先进的高质量微机电（MEMS）流量传感器芯片，结合数字处理技术和工业设计，所开发的智能化高精度气体质量流量检测仪表。该产品具有精度高、量程比大、响应速度快、集成度高等优点，同时采用电磁兼容设计和防水、防尘功能，使其可以适用于燃气、石油、化工、能源、医院等多个领域。在输出方面，带有工业级液晶显示屏幕，用于显示瞬时流量、累计流量等信息，并支持模拟和数字输出方式。此系列产品的量程从50SCCM到 200SLM内可选，典型精度为0.5%（0.3%可定制），输出信号可选择：4-20mA和1-5V模拟信号，以及RS485、EtherCAT, CC-Link等数字通信方式。