1一1剖面图方向_几种镀膜设备的未来发展方向（2020年1月）

题目太大，尝试着说说，同行看到不对的地方，欢迎指正。

1，大热的光通讯滤光片（密集波分复用滤光片 DWDM）

目前行业内公认能够做出来高质量DWDM的设备为，VEECO离子束溅射镀膜机，原OCLI的溅射式镀膜机，最近几年的光驰NBPF。

但是这些设备要么设备价格太高，要么技术保密禁售，要么产出效率低，所以市场上很多滤光片厂商都在尝试进行此类设备的研发改进，从而希望在5G大潮中分一杯羹。

设备的难度大体如下：

a，稳定的沉积速率和低吸收低应力膜层制作

b，均匀性控制

c，光控系统的可靠性

有几个方向，预测可行

• veeco离子束溅射镀膜设备的同类型产品开发，难度在于如何得到低吸收低应力的薄膜，需要研发具有独立产权的光学控制系统，此设备目前尚未能达到DWDM的制作水准。
• 中心监控式，电子束蒸发镀膜设备，毫无疑问光驰没有放弃这个方向，且最有可能在未来一两年内形成规模。
• 溅射式镀膜设备（交流溅射?直流溅射？），离子源辅助镀膜。据我所知国内有两三家都在开展这个设备的研究开发，究竟谁更快出成果，尚未可知。

以上方式，随着5G市场的逐步展开，两三年内应该会有结果，不是东风压倒西风，就是西风压倒东风。

2， 传统光学镜片，滤光片镀膜设备

随着国内技术发展，AR膜镀膜设备订单，多数都走向了国产设备商。但是滤光片设备，由于国内光控系统发展的还不够好，都还是在那两三家外资设备商手里。

所以这个设备倾向：国产设备配光控应该不会有错，国产的光控系统，RF离子源会出来，但是在成熟之前，进口设备的强势还会延续一段时间。

另外：目前比较热门的，高能激光用滤光片（耐激光损伤薄膜），也有几个设备方向，传统的电子枪+离子源方式可能是最容易实现的，中频溅射式镀膜有天然膜强度优势，但是表面缺陷要做到电子枪蒸发的水平，估计要一段时间。

目前国内的一些新的设备生产商进步很快，给人眼前一亮的感觉。

3， 为手机后盖生产膜片的溅射设备

现阶段最具有优势的是inline溅射线，此前这些产线都用来生产lowE玻璃或者屏幕盖板，可以说多数是旧设备，所以这些设备有很强的成本优势，但是随着卷绕式镀膜设备进入这个领域，很有可能会出现大的动荡。

随着手机后盖要求色泽越来越苛刻，低于20个靶的产线也因为膜层厚度达不到或者没有性价比，出让了一部分市场空间给溅射后氧化设备（类似shincron 的RAS机）。

这个领域，原来还可以使用电子枪+离子源的，现在因为对膜强度要求高而逐渐弃用。

我猜测，国产卷绕镀膜设备+溅射后氧化设备 这两种设备还有相当一段好日子过。

4， 卷绕式溅射（蒸发）镀膜设备

越来越多的人意识到，卷绕式镀膜设备应用广泛，开始进行设备的国产化，能说出来的应用比如：上文提到的手机后盖膜片，windowfilm，透明导电膜，声学膜，蒸发设备比较成熟的应用于包装膜镀铝，后期可能用于很多新能源行业。

但是卷绕系统应用在真空里面，本身具有非常大的技术门槛，所以国内能够驾驭卷绕设备的，都还仅限于包装行业，预计随着市场需求的扩大和成本需求，国内会有很多厂商开发卷绕式镀膜设备，路线应该是从比较粗放的镀铝设备，向功能膜设备转变，再向光学膜设备转变。

而这个时候进口设备如AMAT ，冯阿登纳，爱发科，布勒莱宝也不会停滞不前，卷绕式设备开发周期长，以5年为单位预估的话，国产设备估计最多也就是能够做到从无到有吧。

其他还有很多方面，不是我能够说清楚的，同行有补充的可以评论里面说。