作者
*聂树真1,赵天卓1,肖红1,樊仲维1,虞钢2
1 中国科学院光电研究院半导体泵浦激光工程中心
2 中国科学院力学研究所先进制造工艺力学重点实验室
衍射光学是基于光波衍射理论发展起来的一个新兴光学分支,是光学与微电子技术相互渗透、交叉而形成的前沿学科。基于衍射光学原理的光束整形技术,能够实现任意的波前变换,可以将原始激光束整形为满足特定空间强度分布需求的光束。
同时,衍射光学整形元件具有体积小、重量轻、易复制、造价低、衍射效率高、设计自由度多、材料可选性宽、色散性能独特等特点和能实现传统光学器件难以完成的阵列化、集成化及任意波面变换等功能,在光束整形领域中具有广阔的应用前景。
利用衍射光学整形元件可实现点阵、平顶、环状以及二维非对称复杂形状等整形光束,为激光在工业、医学、光通讯、核聚变、国防等各个领域应用拓宽了道路。
光束整形问题本质上是一个给定输入和输出,求解逆衍射的光学问题。衍射光学整形元件设计的基本思路是已知光学系统中输入和输出平面上的光强分布,如何计算输入平面上整形元件的相位分布,使其正确调制入射光场,高精度的给出预期输出图样,以实现所需光束整形的功能。
下文带大家一起看看各种基于衍射光学的激光光束整形技术的研究进展,主要包括达曼光栅(Dammann Grating)、几何变换法和G-S算法(Gerchberg-Saxton)实现点阵、多圆环、特殊图形等的输出整形光束。
整形光束分类
1达曼光栅设计点阵整形光束
达曼光栅是一种傅里叶变换型的分束器,输出光斑阵列的光强均匀性不受入射光波分布影响,能够产生任意排列的点阵,并且设计和加工都较方便,因此它的适用面广、通用性强,被用于光互连、并行读取信息或作为逻辑阵列器件的光源等。将达曼光栅置于傅里叶变换透镜前,经单位振幅的平面波照射,将在透镜的后焦面(即频谱面)上得到间距相等的光点阵分布。传统的达曼光栅设计,可输出等强度点阵分布,对其扩展的均匀采样型矩形孔径达曼光栅设计,能实现输出多样化的点阵分布图样。其光束整形原理图如图1所示,不同点阵的整形输出如图2所示。