报告荐读DISCOVERY ?
来源 | 方正证券重中之重,前道设备居首位。
光刻机作为前道工艺七大设备之首(光刻机、刻蚀机、镀膜设备、量测设备、清洗机、离子注入机、其他设备),价值含量极大,在制造设备投资额中单项占比高达23%,技术要求极高,涉及精密光学、精密运动、高精度环境控制等多项先进技术。光刻机是人类文明的智慧结晶,被誉为半导体工业皇冠上的明珠。
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冲云破雾,国产替代迎曙光。
目前全球前道光刻机被ASML、尼康、佳能完全垄断,CR3高达99%。在当前局势下,实现光刻机的国产替代势在必行,具有重大战略意义在02专项光刻机项目中,设定于2020年12月验收193纳米ArF浸没式DUV光刻机,其制程工艺为28纳米。考虑到此项目作为十三五目标,未来具有较大的明确性,结合28nm作为当前关键技术节点的性能和技术优势,我们认为光刻机国产替代将迎来新的曙光,尤其是IC前道制造领域,将初步打破国外巨头完全垄断的局面,实现从0到1的突破。
以下是方正证券陈杭分析师撰写的《光刻机行业研究框架》报告:
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