基本概念 : 什么是激光干涉仪?
激光干涉仪是利用激光作为长度基准,对数控设备(加工中心、三座标测量机等)的位置精度(定位精度、重复定位精度等)、几何精度(俯仰扭摆角度、直线度、垂直度等)进行精密测量的精密测量仪器。
机床精度的21项误差
激光的产生
LASER是Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation的缩写,意为通过受激发射线的放射达到光的放大,即激光。
大多数现代位移干涉仪都使用氦氛(He-Ne)激光管,这些激光管具有633纳米(nm)的波长输出
氦氖激光管的构成如下所示:
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