激光干涉仪使用方法_激光干涉仪原理

激光干涉仪是精密测量仪器,用于数控设备的精度检测。它基于激光的干涉特性,通过氦氖激光管产生稳定的波长,实现高精度测量。双频激光干涉仪能减少零漂和环境干扰,适用于不同环境下的测量任务。安装时需确保激光头、分光镜和反射镜对齐,并考虑空气折射率对波长的影响。
摘要由CSDN通过智能技术生成
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基本概念 : 什么是激光干涉仪?

激光干涉仪是利用激光作为长度基准,对数控设备(加工中心、三座标测量机等)的位置精度(定位精度、重复定位精度等)、几何精度(俯仰扭摆角度、直线度、垂直度等)进行精密测量的精密测量仪器。

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机床精度的21项误差

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激光的产生

LASER是Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation的缩写,意为通过受激发射线的放射达到光的放大,即激光。

大多数现代位移干涉仪都使用氦氛(He-Ne)激光管,这些激光管具有633纳米(nm)的波长输出

氦氖激光管的构成如下所示:

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