方法 组件_模拟BAW滤波器组件的温度特性和仿真建模方法

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模拟BAW滤波器组件的温度特性

环境温度的变化会导致BAW组件的材料特性和几何形状发生变化，从而改变其行为。例如，在大多数情况下，环境温度的变化会导致谐振器的导纳曲线移动或滤波器曲线的频率响应向更低的频率移动。为了开发在所有工作温度下都能满足给定规格的BAW组件，拥有可用于对温度行为进行建模的仿真方法非常重要。

建模方法

由于BAW组件是3D结构，因此必须对其3D物理影响进行精确建模。商业上可用的有限元方法(FEM)求解器软件可用于EM(电磁)和热仿真模拟。在设计谐振器时，通常使用2D和3D FEM仿真来建模和抑制杂散以及非陷波[11]模式。在抑制了寄生模式之后，BAW谐振器中的声波产生和传播通常通过一维传递矩阵方法来建模(图6)。

图6

图6.一维传输矩阵方法中假设的波传播示意图。

在这种方法中，