目前,数控机床的直线运动坐标轴一般通过滚珠丝杆螺母副将伺服电机的旋转运动转换为直线运动。多数数控机床采用半闭环控制系统,当机床几何精度得到保证后,机床坐标轴的反向间隙与滚珠丝杆螺母副的螺距误差是影响机床定位精度与重复定位精度的主要因素,对机床坐标轴的反向间隙、滚珠丝杆螺母副的螺距误差进行补偿能极大地提高机床精度,从而保证零件的加工精度。机床控制系统也对这个两个补偿参量设置了专门的参数, 供坐标轴的误差补偿之用。
1 螺距误差与补偿
一方面,由于滚珠丝杆螺母副加工设备精度及加工条件变化的影响,滚珠丝杆都存在螺距误差;另一方面,由于数控机床在安装的时候,丝杠和螺母未能预紧到理想的状态,也会使得机床运动部件在工作的时候不能达到预定的位置而产生误差。通常称此误差为螺距误差。
螺距误差的补偿分为实时动态补偿与静态补偿两种方式。
实时动态补偿也称为在线补偿,是一种借助实时位置检测系统所测得的数值控制机床运动轴定位的控制方法。这种补偿方式可显著提高机床的定位精度,但对机床系统的要求较高, 机床成本相应增加。
静态均化补偿是这样的一种控制方法: 事先将螺距误差的补偿值存储在数控系统参数表中,待补偿值生效后,数控系统自动将目标位置的补偿值叠加到插补指令上,实现螺距误差的补偿。
2 激光干涉仪误差测量系统
XL30激光系统使用HeNe激光器,包含光学镜组和电子线路,激光光束的稳频、细分和干涉条纹计数。来自XL30激光头的光束进入线性干涉镜,在此光束被分成两束。一束光,称为参考光束,被引向装在分光镜上的反射镜,另一束光,称为测量光束,则穿过分光镜到达第二个反射镜。然后,两束光都被反射回分光镜,在此它们重新组合并被导回到激光头,激光头内的探测器监测两束光之间的干涉。
用于测量线性定位精度的线性测量镜组组件包括1个分光镜和2个线性反射镜。将其中1个线性反射镜和1个分光镜组合,便成为一个线性干涉镜组,它形成激光光束的参考光路,如图1所示。
在线性测量过程中,一个光学组件保持静止不动,另一个光学组件沿线性轴移动。通过监测测量光束和参考光束之间的光路差异的变化,产生定位精度测量值。它是两个光学组件之间的差异测量值,与XL激光头的位置无关。此测量值可以与被测机床坐标轴定位系统上的读数比较,获得坐标轴的精度误差。
通常,将反射镜设定为移动光学部件,将干涉镜设定为静止部件。二者可以反过来,但是最大测量距离将缩短。因此,在长轴测量时,通常线性干涉镜静止不动,而另一个反射镜移动。在短轴测量时,为了方便它