1. 故障描述 1.1 CT PECVD机械臂突然出现抱闸现象,机械手只能开合复位,Lift不能进行上下的动作。 2. 故障处理分析 2.1 重启CMI,重启电脑,lift电源断电重启,排查lift线路,更换RDC2模块,更换Can open通讯模块,lift 仍然处于抱死状态; 2.2 欧姆龙伺服驱动器以及锂