matlab非球面方程,一种基于Matlab的非球面光学元件面形参数测试技术

第36卷 第4期 红 外 技 术 V ol.36 No.4 2014年4月 Infrared Technology Apr. 2014

〈测量技术〉

一种基于Matlab 的非球面光学元件面形参数测试技术

尤 越，王乔方，字正华

(昆明物理研究所，云南 昆明 650223)

摘要：提出了一种接触式轮廓仪测量非球面参数的新方法，该方法通过在传统的二维接触式轮廓仪

基础上增加旋转，从而实现了三维测量。为了验证新方法的测量准确性与可行性，文中使用ZYGO 干涉仪对旋转对称球面进行检测，与新方法的检测结果加以对比。最后，使用新方法对非球面光学元件的面形参数进行测试，分析结果表明新的测量方法具备较高的测试精度，满足测量要求。 关键词：非球面面形参数；接触式轮廓仪；ZYGO 干涉仪；测试精度

中图分类号：TN214，TH74 文献标识码：A 文章编号：1001-8891(2014)04-0331-05

A Test Technique of Surface Shape Aspheric Optics Parameters Based on Matlab

YOU Yue ，WANG Qiao-fang ，ZI Zheng-hua

(Kunming Institute of Physics , Kunming 650223, China )

Abstract ：This paper proposes a new method to measure contact profilometer aspherical parameters. The method adds a dimension to the conventional two-dimensional rotating contact profilometer in order to achieve a three-dimensional measurement. To verify the veracity and feasibility of the new method, the paper used ZYGO interferometer to measure the sphere of rotational symmetry and compare the measuring result with that of the new method. Finally, the new method is used to measure the parameters of aspheric. The results show that the new measurements have high precision, which meets the measurement requirements.

Key words ：aspheric parameters ，Stylus profilometer ，ZYGO interferometer ，accuracy of test

0 引言

非球面即为与球面有偏离的表面，在光学系统中采用非球面光学元件，不仅可以减少光学元件的数量和减轻重量，缩小系统尺寸，简化仪器结构，而且有利于校正像差，改善成像质量，还能够增加光学设计的自由度，降低成本。因此在现代光学系统中得到了广泛应用，特别是红外非球面光学元件的设计和加工技术及其应用得到了快速的发展[1]。

与此同时，对光学非球面元件的面形参数的检测提出了更高的要求。尽管目前发展出多种非球面的检测技术，但主要测试方法依旧采用接触式轮廓测量法。然而，接触式轮廓测量法已无法满足高精度非球面检测要求，必须开展非球面面形测试技术研究，本文在现有设备条件基础上提出一种新的测

试方法，解决检测工艺瓶颈问题。

1 接触式轮廓仪非球面测试方法研究

1.1 传统非球面面形测试方法

传统的接触式轮廓测量法在检测过程中，只测量若干条经过轴对称光学元件对称轴的子午线，所以又称为线性轮廓仪法，其基本原理如图1所示，该测试方法要预先确定轴对称光学元件面的中心，在实际检测加工过程中，因为存在各种限制因素，光学非球面元件的生产、制造以及加工会不可避免的产生一定的影响。因此，若想提高光学非球面元件的表面精度，除选择精密的加工设备外，还应设计合理的检测方法，使光学元件的精度接近设计目标。

在生产、加工过程中，工件质量的优劣是通过