白光干涉仪
马来西亚 Bruker Contour GT-K
白光干涉仪,又称三维光学轮廓仪
主要技术参数
纵向测量范围:可达10mm
垂直分辨率:<0.1nm
台阶高度误差:<0.75%
最大测量范围:1.7 x1.3 mm2(单张图)
功能
利用迈克尔逊干涉原理,测量光程差从而测量相关物理量,如厚度(mm)、台阶高度(nm)、折射率变化等。可对薄膜进行厚度测量及分析。在超大视野内范围内,对样品表面形貌和纹理进行表征,从亚纳米级到超过10毫米级垂直测量。
(图片来源于网络)
白光干涉仪
马来西亚 Bruker Contour GT-K
白光干涉仪,又称三维光学轮廓仪
主要技术参数
纵向测量范围:可达10mm
垂直分辨率:<0.1nm
台阶高度误差:<0.75%
最大测量范围:1.7 x1.3 mm2(单张图)
功能
利用迈克尔逊干涉原理,测量光程差从而测量相关物理量,如厚度(mm)、台阶高度(nm)、折射率变化等。可对薄膜进行厚度测量及分析。在超大视野内范围内,对样品表面形貌和纹理进行表征,从亚纳米级到超过10毫米级垂直测量。
(图片来源于网络)