matlab将图像绕某一点旋转_机床旋转轴六自由度几何误差测量系统的

机床旋转轴六自由度几何误差测量系统的设计

Chien-Sheng Liu a , ∗ , Hung-Chuan Hsu b , Yu-Xiang Lin

摘要：本文提出了一种新型的非接触式光学测量系统，该系统结合了多角镜和圆锥透镜，以达到同时测量机器旋转轴的六自由度(6 DOF)以及机床的几何误差。在开始时，我们使用Zemax软件构建建议的光学结构，并观察探测器上光斑的变化。然后，我们利用偏光线跟踪法在Matlab软件上建立了所提出的光学结构，该光学结构用于呈现光斑变化的实际情况并与仿真结果进行比较。然后，我们设计了合适的固定装置，以将系统结构放置在实验室环境中的旋转轴上。完成实验室建造的原型后，我们分析了机床旋转轴不同角度位置上不同几何误差对探测器的影响。拟议的测量系统同时测量了6个自由度的旋转轴几何误差，并使用ISO 230-7的测量方法将实验结果与两个百分表的测量结果进行了比较。实验结果表明，X轴上的径向运动误差，Y轴上的径向运动误差，X周围的倾斜运动误差和Y周围的倾斜运动误差的最大偏差范围为±4.7μm，±6.0μm，±分别为3.6 arcsec和±8.1 arcsec。

1.   引言

机床的加工技术已经发展了很多年。随着工件精度的要求，几何误差测量技术变得越来越重要。机床的几何误差测量技术传统上可以分为接触式和非接触式两种 前者具有成本低，精度高的特点，但必须逐点接触探针以接触机床的量规表面，这不仅要花费大量时间，而且会消耗探针[1,2]。因此，过一会儿需要对探头进行半径补偿，否则会影响测量精度。在非接触式测量技术中，激光干涉仪是使用最广泛的测量仪器。但是，干涉仪价格昂贵，并且一次只能测量机床的一自由度(1 DOF)几何误差。如果要测量不同的自由度几何误差，则必须使用不同的反射镜组和实验设置。结果，测量效率明显较低，并且在较长的测量期间内，测量环境可能会发生变化，从而影响测量精度[3,4]。

由于切削工具，旋转轴，线性工作台等的原因，机床中存在各种几何误差源。在本文中，我们仅讨论来自机床旋转轴的几何误差源。对象的运动自由度可以定义为6 DOF，包括分别沿X，Y和Z轴移动的三个线性运动，以及分别围绕X，Y和Z轴的三个旋转运动。机床的旋转轴还具有6个自由度几何误差，即X方向上的径向运动误差(? X)，Y方向上的径向运动误差(?Y)，X轴周围的倾斜运动误差(ɛX)，倾斜运动误差 绕Y轴(ɛY)，轴向运动误差(? Z)和角度定位误差(ɛZ)[5]。近年来，许多研究人员开发了多种方法来测量机床线性轴和旋转轴的多自由度几何误差[6]。前者开发得很好[7-10]，并将线性轴的6 DOF几何误差分为水平直线度误差，垂直直线误差，定位误差，侧倾误差，俯仰误差和偏航误差[11，12 ]。尽管后者的研究文献少于线性轴，但是最近它也开始发展[13]。例如，村上等。提出了一种新型的主轴误差测量系统，该系统结合了圆柱透镜和球面透镜作为它们的运动模块，可以测量5自由度的几何误差[14]。他等。用两个激光位移计和自行设计的夹具测量机床旋转轴的6个自由度几何误差[15]。Li等。利用单模光纤耦合激光器和两个后向反射器作为他们测量旋转轴5自由度几何误差的新方法[16]。单模光纤的应用不仅提高了空间稳定性，而且显着提高了测量激光束的能量分布。其他类型的测量设备，例如激光示踪剂和激光扫描仪，也可以测量旋转轴的多自由度几何误差[17-19]。研究人员还可以使用具有均匀传递