螺杆真空泵安装流程图_阿特拉斯螺杆真空泵的基本知识,你了解吗?

螺杆真空泵是干式真空泵的一种,因其清洁无油、多相混输的特性在电子半导体、制药等领域广泛应用。本文介绍了其特点,如清洁无油、结构简单、可靠性高;工作原理,包括进气、压缩和排气过程;以及在半导体蒸镀、医药化学等领域的应用。虽然初期投入较高,但长期效益显著。
摘要由CSDN通过智能技术生成

螺杆真空泵是容积式真空泵的新成员,出现于上世纪90年代前后,发展缓慢。 

但是,作为理想的干式泵,螺杆真空泵问世后,得到了迅速的发展。现在就来理解一下小编和基本知识吧!

  一、螺杆真空泵特点

  螺杆真空泵起源于螺杆式压缩机和螺杆式液体输送泵,是容积式真空泵中理想的干式真空泵。由于能够清洁无油真空环境,对含有腐蚀性气体、凝缩性蒸汽、粉尘粒子的气体有很强的适应性,在电子半导体、制药、石油化学等清洁真空环境的要求严格、气体成分复杂的行业中,螺杆真空泵受到欢迎,是传统的油封机械泵、液体环泵的模型

  螺杆真空泵通过一对非对称螺杆转子的相对运动,周期性地改变齿间容积来输送气体,实现抽出的目的。这些特征包括:

  1、清洁无油,多相混输,适应性广。螺杆真空泵转子之间有严格的间隙,泵室内无油,能吸入腐蚀性气体、有毒及粉尘、凝结性蒸汽等复杂气体。

  2、结构简单,动平衡好,可靠性高。螺杆真空泵零件少,核心零件没有易损件,没有不平衡惯性力,运转可靠,寿命长。

  3 .结构简单,零件少,操作、维护简单。

  4、强制输送空气,能在大压力范围内保证大的吸引速度,排气量几乎不受排气压力的影响。

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