从气相制备铌碳化物粉末和涂层方法的研究

研究背景

铌碳化物的主要特性是高熔点和显微硬度，对熔融金属和金属蒸气作用的高抗性，在高温下合理的强度，低蒸气压，高电导率和良好的发射率。这些性质决定了NbC的应用领域，例如用于制造高温炉的加热元件和铝蒸发厂，保护涂层，热离子发射元件的涂层，以及在耐热合金中的应用。

研究主旨

本文研究了通过气相沉积法获取高纯度铌碳化物（NbC）粉末和涂层的方法，发现氢与氯化物的比例为10:1时，沉积速率最高。NbC因其高熔点、硬度、抗腐蚀性和导电性，适用于高温炉加热元件等应用。实验中，铌、石墨、钨和钼作为基材均可成功沉积NbC涂层。

研究特点

研究了在1500-1900°C温度范围内，从气相混合物沉积获得铌碳化物粉末和涂层的可能性。沉积速率与反应物浓度、基板温度和氢气供应速率的关系进行了研究。铌碳化物的最高沉积速率发生在氢与总氯化物的最佳比率为10:1时。还研究了在石墨、钨、钼和铌上沉积涂层的可能性。

文章出处 从气相制备铌碳化物粉末和涂层方法的研究