锆和钛的热解碳化物的生产工艺及部分性质

研究背景

详细描述了化学气相沉积方法的主要原理。已确定通过此方法生产难熔金属和化合物的可能性，并且现在在各种高温技术领域中用于生产结构材料。介绍了气相沉积的过程，以及两种合成难熔碳化物的方法：一种是挥发性金属化合物的分解或还原，然后是沉积金属的碳化；另一种是挥发性金属化合物与烃之间的交换反应。

研究主旨

本文探讨了锆和钛碳化物的气相沉积工艺，通过控制温度、气相组成和蒸汽混合物供给速率等参数，可以影响碳化物的沉积速率、结构和化学成分。实验中使用了一种实验室装置，通过氯化物和甲烷在氢气存在下的交换反应来沉积碳化物。研究还发现，通过优化这些参数，可以在不同条件下获得接近化学计量组成的均匀碳化物涂层。

研究特点

研究了从气态混合物中沉积出钛和锆碳化物的致密沉积物，成分均匀的生产条件。讨论了过程的各种参数（温度、气相组成和蒸汽混合物供给速率）对沉积速率、结构和所获碳化物化学成分的影响。

文章出处 锆和钛的热解碳化物的生产工艺及部分性质