SEMI标准的解释说明

SEMI标准

是一项关于半导体行业独有的标准安全文件，对半导体设备制造行业有着指导性和实践性的意义
标准中包含很多的文件，不同文件包含不一样的安全性的知识，比如SEMI-S2是关于机械安全、电气安全、辐射安全、化学安全、其他安全要求（比如防火、防爆、噪声控制、振动控制、温度控制等），文件中要求供应商提供详尽的用户文档，包括操作手册、维护手册、风险评估报告等，以指导用户安全使用设备，该指导文件引用了一系列相关国际标准和安全指南，如IEC 61508、ISO 13849等，用于指导安全系统的设计和评估，为半导体制造设备的安全设计、操作和维护提供了全面和详细的指导，有助于提高半导体制造过程的安全性。