M1相二氧化钒VO2单晶薄膜

M1相二氧化钒VO2单晶薄膜

 

钒氧化物高质量外延单晶薄膜

钒氧化物是一种极其复杂的金属氧化物,且具有丰富的相结构,每一种相都有其独特的用途,如VO2高温R相到低温M相之间发生结构转变同时伴随着4-5量级的电阻率变化,高温下的VO2薄膜对红外光具有极好的截至性能,因而在光电器件、节能窗、低功耗场效应管等具有潜在的应用前景;VO2存在的B相是其钒氧化物众多的亚稳相之一,VO2(B)的层状结构以及纳米量级下具有可靠的性质而越发引起关注,例如VO2(B)相纳米线或纳米针用于阴极的Li电池中,同时VO2(B)具有高温度的电阻系数可用于辐射热计中的红外吸收层。然而,在透明且廉价的衬底上制备薄膜形式的钒氧化物一直是个挑战,我们利用反应离子溅射在(0006)取向的蓝宝石衬底上成功制备出V2O3,VO2(M1),VO2(B)等高质量的外延单晶薄膜。

产品:VOx外延薄膜(厚度可定制)

制备方法:反应离子溅射;衬底:双抛光透明蓝宝石

样品尺寸:

 小编:wyf 07.12

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