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CCD_descript CCD入门教材，CCD是重要的成像器件，对它的了解是十分有用的

超光滑表面在现代科学技术中具有重要意义。超精密抛光技术是实现超光滑表面的主要方法。本文对超光 滑表面的概念、影响超精密抛光质量的因素、几种超精密抛光方法及其所能达到的抛光效果、抛光效果的测量与评 价方法等进行了介绍。同时描述了超精密抛光的发展阶段、现状和发展趋势。

光学加工文献采用环行抛光技术是实现大尺寸、高面形精度和细表面粗糙度要求的方形或长方形平面元件批量化加工 的一条有效途径。