【同轴线共焦传感器原理】

共焦传感器（Confocal Sensor）是一种基于光学共焦原理的高精度测量技术，其核心思想是通过空间滤波消除非焦面反射光干扰，从而实现对被测物体表面形貌或位移的纳米级分辨。以下是其工作原理的详细说明：

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1. 共焦光学系统的基本结构

共焦传感器通常由以下关键组件构成：

• 点光源（激光或白光）
• 分光镜（Beam Splitter）
• 物镜（高NA透镜）
• 共焦小孔（Pinhole）
• 探测器（光电传感器或光谱仪）

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2. 核心原理：光学层析与空间滤波

（1）共焦光路形成

1. 光源发射：点光源发出的光经分光镜反射，通过物镜聚焦到被测物体表面。
2. 焦点反射：只有位于焦平面（被测物表面）的光点会精确反射回光路。
3. 信号接收：反射光再次通过物镜和分光镜，严格聚焦通过共焦小孔后被探测器接收。

（2）非焦面光信号抑制

• 焦平面外的散射光（如来自被测物内部或相邻区域的反射光）因无法通过小孔而被过滤，实现光学层析（Optical Sectioning）。
• 效果：系统仅接收焦平面处的信号，信噪比显著提升（对比传统显微镜提升50%以上）。

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3. 测量模式分类

（1）位移测量模式（单点共焦）

• 轴向扫描：通过移动物镜或被测物，记录光强峰值对应的位置，计算位移（分辨率可达1nm）。
• 应用：薄膜厚度、微结构高度测量。

（2）光谱共焦（Chromatic Confocal）

• 色散透镜：白光通过轴向色差透镜，不同波长光聚焦在不同深度（如蓝光焦距短，红光焦距长）。
• 波长-位移映射：反射光的峰值波长对应被测物位置（无需机械扫描）。
• 优势：适合透明/多层材料检测（如玻璃波纹管）。

（3）线共焦（Line Confocal）

• 线光源替代点光源：通过柱面镜形成共焦线，配合扫描运动实现2.5D轮廓测量。
• 优势：高速检测（如生产线上的波纹管全长扫描）。

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4. 关键公式与参数

• 轴向分辨率：

  $$\Delta z=\frac{\lambda }{2n(1-\cos \alpha )}$$

  （$\lambda$：波长，$n$：折射率，$\alpha$：物镜半孔径角）

• 横向分辨率：与传统显微镜相同，约0.61$\lambda /NA$。

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5. 技术优势

特性	共焦传感器	传统光学测量
分辨率	轴向1nm，横向0.1μm	微米级
抗干扰能力	抑制离焦散射光	易受环境光/杂散光影响
适用材料	高反光/透明/多层材料	受限（如镜面反射失效）
测量维度	3D形貌/厚度	多为2D图像

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6. 典型应用场景

1. 半导体制造：
   • 晶圆表面缺陷检测（灵敏度0.01μm）。
2. 精密加工：
   • 波纹管焊接缝的3D形貌重建。
3. 生物医学：
   • 透明角膜厚度测量（光谱共焦）。

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7. 局限性及应对

• 景深限制：共焦小孔导致景深较窄。
• 解决方案：自动对焦扫描或大NA物镜。
• 透明材料折射误差：
• 解决方案：折射率补偿算法或多波长测量。

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总结

共焦传感器通过共焦小孔的空间滤波和光学层析技术，实现了远超传统光学方法的测量精度与抗干扰能力。选择时需根据被测物特性（如尺寸/材质）匹配传感器类型（点/线/光谱共焦）。