半导体设备通信标准—secs/gem协议概要介绍及使用方法，以及关键指令说明

SunkingYang

已于 2025-04-23 16:36:28 修改

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分类专栏： # 通讯协议 # SECS协议文章标签：半导体协议 secs gem eap 自动化 semi

于 2025-03-08 10:48:17 首次发布

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以下是关于 SECS/GEM 协议的详细介绍及使用方法，结合其核心概念、架构、功能及实际开发要点进行系统化阐述：

一、SECS/GEM 概述

SECS/GEM 是半导体行业用于设备（Equipment）与上层控制系统（Host，如MES/CIM）之间通信的标准协议，由 SEMI（国际半导体产业协会） 制定，涵盖以下核心标准：

SEMI E30 (GEM)：定义设备行为模型、状态机及通信规则。
SEMI E5 (SECS-II)：规范设备与主机交换的报文格式及数据结构。
SEMI E37 (HSMS)：基于TCP/IP的传输层协议，替代早期的RS-232（SECS-I）。

应用领域：最初用于半导体制造，现扩展至光伏、SMT（表面贴装技术）等行业，支持设备互联互通与智能制造。

二、核心组件与架构

1. 协议分层

GEM（通用设备模型）：定义设备状态机（如通信、控制、处理状态）、数据收集、报警管理等行为规则。
SECS-II：报文（Message）格式标准，以“流（Stream）+功能（Function）”组织指令（如S1F13为建立通信请求）。
HSMS：基于TCP/IP的传输层，支持高速通信，需配置IP、端口及超时参数（如T3回复超时、T7连接超时）。

2. 通信角色

主机（Host）：通常是MES或CIM系统，负责发送指令、收集数据。
设备（Equipment）：运行符合GEM标准的软件，响应主机指令并上报状态。

三、核心功能

1. 设备控制与状态管理

控制层级：
- 离线（OFFLINE）：仅允许手动操作。
- 在线本地（ONLINE/LOCAL）：主机可读数据，不可修改参数。
- 在线远程（ONLINE/REMOTE）：主机全权控制设备。
远程指令：如启动、停止、暂停等，通过SECS-II报文（如S2F41发送主机命令）实现。

2. 数据收集

变量类型：
- 状态变量（SV）：只读，反映设备实时状态（如计数器值）。
- 设备常数（ECV）：可读写，配置设备参数（如工艺配方）。
- 数据变量（DVVAL）：测量数据（如温度、压力）。
事件触发报告：当设备触发特定事件（如报警）时，自动发送数据报告。

3. 报警管理

报警设置与清除：通过事件通知（如S5F1发送报警报告），主机可启用/禁用特定报警。
报警数据关联：每个报警可绑定自定义数据报告，增强诊断能力。

4. Recipe与工艺控制

Recipe管理：通过S7F3发送加工程序，或S15F1查询配方状态，支持动态调整工艺参数。

四、使用方法与开发流程

1. 通信配置

连接模式：
- 主动模式：设备主动连接主机（需配置主机IP和端口）。
- 被动模式：设备监听端口等待主机连接。
超时参数：需设置T3（默认45秒回复超时）、T5（连接间隔10秒）等，避免通信阻塞。

2. 开发实现

环境搭建：
- C/C++：使用如“金南瓜EAP SECS”等SDK，引入SecsPort.lib等库文件，支持多线程处理Transaction。
- C#：通过DLL封装协议逻辑，参考示例代码实现报文编解码。
初始化流程：
1. 调用Start初始化SDK。
2. 配置IP、端口及加载CSV数据文件。
3. 启用通信（CommEnable）。

报文交互示例：

// 发送S1F13建立通信
RcResult rc = m_pSecs->SendS1F13();
if (rc.rc == 0) {
    // 处理成功响应
}

3. 常用指令示例

指令	功能描述	方向
`S1F13`	建立通信链路	主机↔设备
`S2F13`	请求设备常数（ECV）	主机→设备
`S6F11`	事件报告（数据采集触发）	设备→主机
`S7F5`	请求加工程序	主机→设备

以下是 SECS/GEM协议 中核心指令的分类及功能说明，结合其应用场景与标准规范进行整理：

3.1、通信管理指令

连接建立与验证
- S1F1/S1F2：用于周期性验证通信链路是否存活。主机发送S1F1请求，设备回复S1F2确认在线状态。
- S1F13/S1F14：建立通信链路的核心指令。设备通过S1F13请求连接，主机以S1F14响应确认。
- S1F17/S1F18：请求设备进入在线远程控制模式，主机通过S1F17发送请求，设备以S1F18返回状态数据。
超时与错误处理
- S9系列指令：用于处理通信异常，如：
  - S9F1：无法识别的设备ID错误；
  - S9F7：数据格式错误；
  - S9F9：事务超时错误。

3.2、设备控制与状态管理

状态查询与控制
- S1F3/S1F4：查询设备状态变量（SVID），主机发送S1F3请求，设备返回S1F4数据。
- S2F41/S2F42：主机发送控制指令（如启动、停止、暂停），设备通过S2F42确认执行结果。
- S2F13/S2F14：请求设备常数（ECV），主机通过S2F13查询，设备以S2F14返回参数值。
远程操作模式切换
- S1F15/S1F16：请求设备进入离线模式，主机发送S1F15，设备回复S1F16状态。

3.3、数据采集与事件报告

实时数据收集
- S6F11/S6F12：设备主动发送事件报告（如生产完成、异常触发），通过S6F11通知主机，主机响应S6F12。
- S2F33/S2F34：定义数据报告格式，主机发送S2F33配置采集规则，设备以S2F34确认。
变量与事件绑定
- S2F35/S2F36：将多个数据报告与事件（CEID）关联，主机通过S2F35设置，设备以S2F36确认。

3.4、Recipe管理

Recipe上传与下载
- S7F3/S7F4：主机发送S7F3将本地Recipe传输至设备，设备以S7F4确认接收。
- S7F5/S7F6：主机通过S7F5请求设备上传指定Recipe，设备以S7F6返回Recipe数据。
Recipe查询与删除
- S7F19/S7F20：查询设备当前所有Recipe名称，主机发送S7F19，设备以S7F20返回列表。
- S7F17/S7F18：删除设备上的指定Recipe，主机发送S7F17，设备以S7F18确认。

3.5、报警与异常处理

报警管理
- S5F1/S5F2：设备主动发送报警报告（如温度超限），通过S5F1通知主机，主机响应S5F2。
- S5F3/S5F4：启用或禁用特定报警，主机发送S5F3指令，设备以S5F4确认。
异常恢复
- S5F13：请求设备从异常状态恢复，主机通过S5F13发送恢复指令。

3.6、其他常用指令

S2F17/S2F18：请求设备时间与日期，主机发送S2F17，设备返回S2F18数据。
S10F3/S10F4：终端显示交互，主机发送S10F3在设备终端显示文本，设备以S10F4确认。

指令特点与使用规范

奇偶配对规则：所有指令的请求（Primary Message）为奇数编号，响应（Secondary Message）为偶数编号（如S1F1→S1F2）。
Stream分类：指令按功能划分至不同Stream（如Stream 1为设备状态，Stream 7为配方管理）。
应用场景：
- 半导体制造：通过S7系列指令管理晶圆加工配方；
- 光伏/SMT产线：通过S6F11实时监控设备运行数据。

五、应用场景与挑战

1. 典型场景

半导体制造：晶圆加工设备的实时监控与工艺调整。
光伏生产：光伏板制造中的自动化参数配置。
SMT产线：贴片机与MES系统的数据同步。

2. 开发挑战

多线程处理：需高效处理并发Transaction，避免阻塞。
兼容性测试：不同厂商设备对SECS/GEM的实现可能存在差异，需严格验证。
大数据报文：使用Encode/Decode优化大报文传输效率。

六、总结

SECS/GEM 作为工业4.0中设备互联的核心协议，通过标准化通信接口，实现了跨平台、跨厂商的设备协同。开发时需结合具体业务需求，合理设计状态机、优化报文交互，并关注超时与异常处理，以确保系统的高可靠性与实时性。

如需进一步了解具体代码实现或协议细节，可参考各开发文档及SEMI标准原文。

上一篇：C/C++中使用CopyFile、CopyFileEx原理、用法、区别及分别在哪些场景使用

此后为废话，纯粹是为了应对csdn质量分，没有任何价值，不要浏览。

在这里插入图片描述

在SECS/GEM的世界里，每一次精准的报文交互，都是工业智能的无声交响；每一个流畅的“流-功能”指令，都是迈向卓越的坚定步伐。

无论面对设备的复杂协议，还是人生的未知挑战，愿你如标准化的通信一般：

以严谨为基 —— 像校验字节一样守护每一步的准确；
以韧性为盾 —— 像重试机制般无惧短暂的中断；
以协作为魂 —— 如Host与Equipment的默契，在连接中创造价值。

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