晶圆:指制作硅半导体集成电路所用的硅晶片,原始材料是硅。硅晶圆的厚度大约在1mm以下。
高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种,然后慢慢拉出,形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒经过研磨,抛光,切片后,形成硅晶圆片,也就是晶圆。国内的晶圆生产线以8英寸和12英寸为主(这里指的是直径,diameter)。
晶圆表面附着大约2um的甘油混合液保护层。
tsmc:台积电,晶圆代工领域。年产1200万片12英寸规格的晶圆。
中芯国际:使用DUV 7nm技术。
光刻机:荷兰阿斯麦公司的EUV光刻机。
晶圆和芯片的关系:目前所见的芯片都是硅基芯片,即利用硅晶圆制作出而来。
芯片制程越小,那么选择的晶圆就越大,14nm或以下制程的芯片,都是采用12英寸的晶圆片进行制造。
晶圆越大,衬底成本就越低。
Kirin 990芯片面积大概100平方mm,内涵103亿个晶体管。
硅片(Raw Si Wafer)市场主要控制在以下5家公司当中:
- 信越化工,33%;(日本)
- 胜高集团,25%;(日本)
- 环球晶圆,17%;(台湾地区)
- Siltronic(世创),13%;德国
- SK Siltron,12%;韩国
硅片(Raw Si Wafer)---》晶圆(Wafer)---》芯片(Chip)
大陆半导体硅片厂商:
- 中环,天津中环股份,立足于光伏单晶硅;
- 立昂微,杭州,专注半导体单晶硅,既能做硅料和硅片,也能做分立器件的芯片;
- 上海硅产业;可以生产12寸硅片;
流片:芯片制造术语。
洁净室:clean room,分为ISO 1-9个等级。
涂胶,烘焙、显影一体机,国产替代:芯源微(沈阳),28nm以上制程,且只占4%市场份额。