《新凯来 ：专注于半导体装备研发与制造的国家级高新技术企业》

“新凯来”是一家专注于半导体装备研发与制造的国家级高新技术企业，隶属于深圳市国资委旗下的深圳市重大产业投资集团。公司成立于2021年，总部位于深圳，核心团队拥有20年以上半导体设备研发经验，在2025年3月的SEMICON China展会上首次公开亮相，因其覆盖半导体制造全流程的技术突破和国产化进展引发行业高度关注。

一、核心业务与技术突破

1. 全流程半导体设备布局
   新凯来构建了覆盖半导体前道工艺的六大类设备矩阵：

   • 工艺装备：包括刻蚀设备（武夷山系列）、薄膜沉积设备（长白山CVD、普陀山PVD、阿里山ALD）、外延生长设备（峨眉山EPI）、快速热处理设备（三清山RTP）等，支持从28nm到5nm的先进制程需求。
   • 量检测装备：涵盖光学检测（岳麓山BFI明场缺陷检测、丹霞山DFI暗场缺陷检测）、物理量测（沂蒙山AFM原子力显微镜）、X射线量测（赤壁山XPS/XRD/XRF）及功率检测（RATE-CP晶圆电性能检测），填补了国内高端量测设备的空白。

2. 技术亮点与行业意义

   • 刻蚀与薄膜沉积：其刻蚀设备采用自研等离子体控制技术，实现纳米级精度；ALD设备支持原子层沉积，适用于5nm以下先进制程。
   • 量检测国产化：光学量测设备采用深紫外宽谱光源和大数值孔径物镜，检测灵敏度达国际领先水平，已进入国内主