安捷伦Agilent 4156A半导体参数分析仪

安捷伦4156A/Agilent4156B半导体参数分析仪

4156A 是安捷伦的半导体参数分析仪。半导体参数分析仪是用于各种测量功能的多合一工具。半导体参数分析仪可以测量和分析多种电子设备、材料、有源或无源元件、半导体或任何其他类型的电子设备的电气特性。工程师使用这台测试设备来监测不同类型设备中的电流和电压响应。附加的功能： 

高分辨率/准确度和宽范围。I：1 fA 至 1 A（20 fA 偏移精度），V：1 μV 至 200 V

采用直流或脉冲模式的全自动 IV 扫描测量，可扩展至 6 个 SMU

同步应力/测量功能，两个高压脉冲发生器单元 (±40 V)

时域测量：60 μS 可变间隔，最多 10,001 个点

易于使用：类似于曲线跟踪器的旋钮扫描，自动分析功能

自动化：内置 HP Instrument BASIC、触发 I/O 功能

Agilent HP 4156A 是下一代精密半导体参数分析仪。您将获得最好的数字扫描参数分析仪、可靠性测试仪、功能强大的故障分析工具和自动进货检测站，所有这些都集成在一台仪器中。

这个新系列经过明确设计，旨在为评估您的亚微米几何器件提供前所未有的精度和功能。使用一台灵活的仪器，您可以从材料评估和器件表征一直到最终封装部件检查和现场故障分析，提高您的半导体质量。

Agilent HP 4156A 提供四个内置电源/监控器单元 (SMU)、两个电压源单元 (VSU) 和两个电压监控器单元 (VMU)。Agilent HP 4156A 将电流分辨率扩展至 1 fA，准确度扩展至 20 fA。Agilent HP 4156A 在每个 SMU 上使用全开尔文遥感。

您可以随时添加配备 0 V/1.6 A 接地单元的 Agilent HP 41501A SMU 和脉冲发生器扩展器。扩展器接受两个 100 mA/100 V SMU 或一个 1 A/200 V SMU，以及两个专门同步的 40 V/200 mA/1 μs 脉冲发生器。

设置和测量

Agilent HP 4156A 可以使用许多测量单元（包括 HP 41501A 中的单元）执行阶梯和脉冲扫描测量以及采样（时域）测量，而无需更改连接。此外，您可以轻松地执行应力测量循环测试以进行可靠性评估，例如热载流子注入和闪存 EEPROM 测试。

设置和测量是通过设置页面并使用前面板按键、键盘或 HP-IB（SCPI 命令）填充空白来进行的。您还可以使用类似于曲线跟踪器操作的旋钮扫描功能即时测量和查找设置条件。

显示和分析

测量和分析结果显示在彩色 CRT 上，您可以将四个图形存储器中存储的图形叠加起来进行比较。许多强大的图形分析工具可以轻松分析和提取许多参数，例如 hFE 和 Vth。一旦找到参数提取条件，就可以使用自动分析功能自动获取参数。

输出和存储

设置、测量和分析数据可以通过 HP-IB 或串行接口输出到彩色绘图仪和打印机。您还可以将数据以 MS-DOS 或 LIF 格式保存到 3 英寸磁盘上。图形（HP-GL 或 PCL）输出文件允许您将图形传输到桌面出版软件。

重复和自动化测试

Agilent HP Instrument BASIC 控制器内置于 Agilent HP 4156A 中，可以使用外部仪器构建自动测量系统，无需控制器。Agilent HP 4156A 可以通过多功能触发 I/O 功能与外部仪器同步。