安捷伦Agilent B1500A半导体测试仪

KEYSIGHT B1500A（安捷伦）

Keysight B1500A (Agilent) 半导体器件分析仪是一款模块化仪器，具有十槽配置，支持 IV 和 CV 测量以及快速高压脉冲。其熟悉的 Microsoft Windows 用户界面支持安捷伦的 EasyEXPERT 软件，该软件为设备表征提供了一种新的、更直观的面向任务的方法。Keysight B1500A (Agilent) 具有极低电流、低电压和集成电容测量能力，可用于满足广泛的半导体器件表征需求（IC-CAP 支持 B1500A）。它也是非易失性存储单元表征和高速器件表征（包括高级 NBTI 测量）的出色解决方案。

Keysight B1500A（安捷伦）的特性和优势包括：

• 卓越的 IV 测量性能：0.1 fA / 0.5 V 测量分辨率

• 测量功能包括单通道和多通道扫描、时间采样、列表扫描、准静态 CV（使用 SMU）、HV-SPGU 的直接控制和任意线性波形生成 (ALWG) GUI。

• 可选的集成电容模块支持高达 5 MHz 的 CV 测量

• 可选的基于定位器的 CV-IV 开关解决方案具有 0.5 V 电压测量分辨率和 10 fA、1 fA 或 0.1 fA 电流测量分辨率能力

• 通过内置半自动晶圆探针驱动器和测试序列轻松实现测试自动化，无需通过快速测试模式进行编程

• 可选的高压半导体脉冲发生器单元 (HV-SPGU) 具有 10 ns 可编程脉冲宽度和 +/- 40 V（80 V 峰峰值）输出。

• 可选的波形发生器/快速测量单元 (WGFMU) 具有 ALWG 和快速电流或电压测量功能。

• 10 ns 脉冲 IV 解决方案可用于表征高 k 栅极电介质和 SOI（绝缘体上硅）晶体管。

• 经典测试模式可用于提供 4155/4156 界面的外观、感觉和术语，同时通过充分利用 Microsoft Windows GUI 功能增强用户交互

Keysight B1500A (Agilent) 半导体器件分析仪的主要规格包括：

• 一般特征

  • 带有 Windows XP Professional 操作系统的基于 PC 的仪器

  • 用于电流电压 (IV)、电容电压 (CV)、脉冲生成、快速 IV 和时域测量的单盒解决方案。

  • 十个用于源监视器单元 (SMU) 和其他模块类型（MFCMU、HV-SPGU 和 WGFMU）的模块插槽 *

  • 通过 Desktop EasyEXPERT 软件进行离线数据分析和应用测试开发

• 测量能力

  • 支持 0.1fA 和 0.5V 的电流-电压 (IV) 测量

  • 支持准静态和中频电容电压 (CV) 测量]

  • 支持脉冲 IV、NBTI 和 RTS 测量等广泛应用的准确快速 IV 和时域测量。

  • 支持用于高功率和存储设备测试的高压脉冲生成（高达 ±40 V）。