KEYSIGHT B1500A(安捷伦)
Keysight B1500A (Agilent) 半导体器件分析仪是一款模块化仪器,具有十槽配置,支持 IV 和 CV 测量以及快速高压脉冲。其熟悉的 Microsoft Windows 用户界面支持安捷伦的 EasyEXPERT 软件,该软件为设备表征提供了一种新的、更直观的面向任务的方法。Keysight B1500A (Agilent) 具有极低电流、低电压和集成电容测量能力,可用于满足广泛的半导体器件表征需求(IC-CAP 支持 B1500A)。它也是非易失性存储单元表征和高速器件表征(包括高级 NBTI 测量)的出色解决方案。
Keysight B1500A(安捷伦)的特性和优势包括:
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卓越的 IV 测量性能:0.1 fA / 0.5 V 测量分辨率
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测量功能包括单通道和多通道扫描、时间采样、列表扫描、准静态 CV(使用 SMU)、HV-SPGU 的直接控制和任意线性波形生成 (ALWG) GUI。
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可选的集成电容模块支持高达 5 MHz 的 CV 测量
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可选的基于定位器的 CV-IV 开关解决方案具有 0.5 V 电压测量分辨率和 10 fA、1 fA 或 0.1 fA 电流测量分辨率能力
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通过内置半自动晶圆探针驱动器和测试序列轻松实现测试自动化,无需通过快速测试模式进行编程
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可选的高压半导体脉冲发生器单元 (HV-SPGU) 具有 10 ns 可编程脉冲宽度和 +/- 40 V(80 V 峰峰值)输出。
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可选的波形发生器/快速测量单元 (WGFMU) 具有 ALWG 和快速电流或电压测量功能。
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10 ns 脉冲 IV 解决方案可用于表征高 k 栅极电介质和 SOI(绝缘体上硅)晶体管。
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经典测试模式可用于提供 4155/4156 界面的外观、感觉和术语,同时通过充分利用 Microsoft Windows GUI 功能增强用户交互
Keysight B1500A (Agilent) 半导体器件分析仪的主要规格包括:
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一般特征
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带有 Windows XP Professional 操作系统的基于 PC 的仪器
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用于电流电压 (IV)、电容电压 (CV)、脉冲生成、快速 IV 和时域测量的单盒解决方案。
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十个用于源监视器单元 (SMU) 和其他模块类型(MFCMU、HV-SPGU 和 WGFMU)的模块插槽 *
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通过 Desktop EasyEXPERT 软件进行离线数据分析和应用测试开发
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测量能力
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支持 0.1fA 和 0.5V 的电流-电压 (IV) 测量
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支持准静态和中频电容电压 (CV) 测量]
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支持脉冲 IV、NBTI 和 RTS 测量等广泛应用的准确快速 IV 和时域测量。
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支持用于高功率和存储设备测试的高压脉冲生成(高达 ±40 V)。
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