是德科技KEYSIGHT B2987A静电计

低电平电流测量

一般情况下，直流电流可通过在一个已知电阻上通以目标电流，测量其直流压降的方法进行计算。积分电路使用反馈电容器也能进行低电平电流测量，因为电容器中的电荷累积到一定程度便能建立起电压，也同样适用于压降法。最后将计算结果转换为电流规格。

这种使用定值电阻计算电流值的方法一般采用两种配置：并联型和反馈型放大器。并联型广泛应用于数字万用表（DMM），反馈型主要用于低电平测量仪器（例如皮安计或静电计），因为后者能够实现更宽的测量范围、更低的负荷电压和更小的等效输入电阻。Keysight B2980A 系列毫微微安计 系列采用了反馈型配置，根据测量的范围对多个反馈电阻进行切换。

高阻测量

如何精确、稳定地测量高电阻，比如说介电材料的绝缘电阻。测量配置主要用于测量高电阻，包括一个已接地的安培计和施加于被测器件（DUT）上的电压源（Vs）。电阻值由下面的公式算出：Rl= Vs/Im

当被测器件的一端接地时，应使用图 4 所示的测量配置。通过把安培计的 Lo 端子连接至 Vs，源电压可以流经安培计并施加到被测器件。电阻值由下面的公式算出：Rl= - Vs/Im

高灵敏测量中的噪声

仪器的内部电路对关键噪声性能起着决定性作用，因而有必要深入理解电路的工作原理。效安培计电路与电压源，其中包括被测器件、ADC（模数转换器）以及与测量有关的主要噪声源。

首先，简要介绍下面这几种电容，便于您更好地理解内部噪声如何转换成测量结果。

Cs：与 Rs 并联的电容。Cs 和 Rs 所设定的时间常数决定了安培计的带宽与建立时间。

Cg：在安培计的 Hi 端子和 Lo 端子之间的电容。Cg 的主要成分是导体和电缆屏蔽（电缆用于连接安培计和被测器件）之间的电容。

Ci：在测量端子（Hi）和电压源之间的电容。

三种噪声源对仪器的测量性能有何影响。

Vn1：Rs 的热噪声

电阻在单位频率上产生的热噪声可由下面的公式算出。Vn1= √4kTRs

k:玻尔兹曼常数

T：温度[K]

Vn1 产生的电流噪声可被估算为

In1=Vn1/Rs= √(4kT/Rs)

根据结果可知，减少安培计中的电流噪声要求阻值更高的 Rs。

由于这种热噪声被归类为白噪声，则输出电压噪声频谱（电压为 Vo 时）将受限于安培计的带宽——也就是由 Rs 和 Cs 决定的带宽。表 1 显示了 B2980A 系列毫微微安计系列中至少两组量程内的 Rs 和 Cs 值。Tau 是 Rs 和 Cs 所设定的时间常数。

Vn2:放大器的等效输入电压噪声

通过 Cg、Ci 和 Ri（被测器件），可将噪声电压转换成电流噪声。

Vn3:电压源噪声

通过 Ci 和 Ri（被测器件），可将噪声电压转换成电流噪声。

电容的影响

一般情况下，Vn2 和 Vn3 都作为电流噪声的主要成分，而 Vn1 只能确定安培计的最低本底噪声。因此，Cg 和 Ci 的加大势必会使测量结果中的电流噪声加大。在被测器件的电阻极大时，Cg 与 Ci 的阻抗可能会小于 Ri 的阻抗，即使在相对较低的频率范围内也是如此。在这种情况下，流经寄生电容的噪声电流将会超过流经被测器件的噪声电流，测量结果也将受到大量噪声的干扰。

如前所述，Cg 是电缆的屏蔽电容，Ci 是被测器件的电容及其端接电容之和。考虑到降低被测器件本身的电容并不容易，为了获得稳定、可变性很低的测量结果，我们需要最大限度地减少 Cg 及被测器件的端接电容。

隔离

如图 6（A）所示，绝缘体（例如电缆护套）实际上始终位于安培计的 Hi 端子和电势之间。当绝缘体受到电压源偏置时，会有一定的泄露电流通过绝缘体，从而产生测量误差。在图 6（A）中，最大泄露电流为Ileak= Vs/Rleak

使用电阻率较大的材料或较短的电缆来加大等效电阻，可以适当地减少测量误差。但由于材料的可加工性或测量的可用性不够理想，因而这种补救措施有时候并不可行。此外，泄露电流电平会随着外加电压而变化，使测量变得更加复杂和不稳定。

减少泄露电流的最有效方式是应用隔离技术。隔离在本文中被定义为，通过偏置导电材料于安培计 Hi 端子上的电压，可将 Hi 端子相连接的电气节点给予隔离。如图 6（B）所示，由于 Lo 端子电压与 Hi 端子电压基本相同，那么对 Lo 端子进行隔离即可最小化或消除 Hi 和 Lo 之间的露泄。在下面的公式中，Vd 的值很小或几近为零，且与电压无关。

Ilk1= Vd/Rlk1

尽管 Lo 端子到地面的泄露电流仍然存在，但它只在电压源和地面之间流动，因而不会对安培计的电流测量造成影响。

Ilk2= Vs/Rlk2

例如，Vd 远远小于 100 μV（B2980A 系列毫微微安计 系列的技术指标规定为 20 μV）。当 Vs = 100 V 且 Rleak = Rlk1 时，泄露电流（Ilk1）为 Ileak 的 1/106。

使用三轴电缆有助于您快速进行隔离设置。一根带有内屏蔽的三轴电缆已连接至 Lo 端子，Hi 端子和 Lo 端子上的电压完全相同，该电缆可以封闭 Hi 端子相连接的中心导体。在这种情况下，假如从中心导体流出的电流没有通过与 Lo 端子电势连接的导体（Lo 端子和 Hi 端子的电势基本相同），那么这个电流就不能流入其他导体。另外，Hi 端子与其他电势之间的电容略大于 Lo 端子与电势。由此可知，使用三轴电缆可以轻松实现指定的隔离。因此，当安培计的输入端是一个具备 Hi/Lo/Guard 功能的三轴连接器（类似于 Keysight B2980A 系列毫微微安计 系列）时，只需连接一根三轴电缆即可快速执行更加稳定、更少漏泄的测量。