[超表面论文快讯-112] Light: Science & Applications-片上衍射超表面散斑光谱仪-哈尔滨工业大学

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• 论文基本信息：

  标题：Scalable on-chip diffractive speckle spectrometer with high spectral channel density
  作者：
  Zimeng Zhang（哈尔滨工业大学（深圳））；
  Shumin Xiao（哈尔滨工业大学（深圳））；
  **通讯作者：**宋清海（哈尔滨工业大学（深圳））；
  **通讯作者：**徐科（哈尔滨工业大学（深圳））

  发表时间：2025年3月20日（其中2024年9月8日投稿，2025年2月10日返修，2025年2月19日接收）
  发表期刊：Light: Science & Applications（JCR-Q1，IF=20.6）

• 论文快览：

  • 解决的问题：
    芯片级光谱仪在医疗诊断、环境监测等新兴应用场景中展现出重要潜力，但现有集成方案面临光谱通道密度与可扩展性的核心矛盾。传统基于波导阵列的空间采样方法受限于芯片面积与物理间距，导致光谱信息丢失；随机介质散射型光谱仪虽提升分辨率，但工作带宽与通道数仍受介质无序度制约。当前研究多聚焦于单层结构优化，缺乏通过器件架构革新实现通道容量数量级提升的有效方案，难以满足高精度宽带光谱分析对大规模光谱通道的需求。
  • 提出的方法：
    研究团队提出基于多层无序超表面的衍射散斑光谱仪架构，通过硅基光电子工艺集成输入波导、准直超透镜组、级联超表面层及多模光栅耦合器。三层超表面由随机分布的无序元原子构成，通过亚波长槽结构对导波光场施加波长依赖相位调制，在输出平面产生高维度散斑指纹。多模光栅将平面内导模衍射至自由空间形成二维散斑图，结合热光调制器实现波矢主动调控，突破单层结构的空间-光谱编码维度限制。该方案将时序波长扫描转换为空间并行探测，建立波长-空间-角动量多维映射关系。
  • 实现的效果：
    实验测得光谱分辨率达70 pm，工作带宽覆盖100 nm（1500-1600 nm），在150 μm×950 μm芯片面积内实现1400个光谱通道，通道密度达10021 ch/mm²，较同类二维微环阵列方案提升3.8倍。动态测试中，70 pm间隔双峰重构误差低于3%，百纳米跨度双峰重构结构相似性指数超0.97。热光调制拓展有效通道至理论极限的1.5倍，验证架构可扩展性。与商用光谱仪对比，连续谱重构平均相对误差为4.81%，满足工业级检测需求。
  • 创新点分析：
    本研究属于器件架构与制造工艺的协同创新：在器件层面，首创级联超表面结构增强光场干涉路径复杂度，突破单层随机介质的信息容量极限；工艺上兼容标准硅光流片工艺，通过亚波长槽阵列实现低损耗相位调制。测量范式层面，以光栅衍射成像替代波导阵列采样，规避空间信息损失。三类创新深度融合，建立可扩展光谱通道密度提升路径，为高维光场调控提供新的物理载体，推动芯片光谱仪从实验室验证向大规模应用跨越。

论文重要图文：

摘要：芯片级集成光谱仪相较于传统台式设备展现出更广泛的应用潜力。为实现高光谱分辨率与大带宽，提升光谱通道数是光谱仪设计的核心目标。然而，芯片尺寸限制了现有光谱-空间映射结构（如色散元件、滤光片阵列、随机介质等）的通道容量。本研究提出基于片上衍射超表面编码光谱信息的新方案：通过平面衍射超表面生成强度散斑解析光谱，并采用三层级联超表面架构扩展光谱信息容量。光栅衍射图案的二维成像实现散斑读取，为光谱重建提供大矩阵支持。该光谱仪在100 nm带宽内分辨率达70 pm，紧凑芯片区域（150 μm×950 μm）内实现1400个光谱通道，通道密度高达10021 ch/mm²，性能超越现有波导结构。

结论：散斑光谱仪实现高分辨率、宽带宽的任意光谱测量能力与可用波长通道数密切相关。相较于传统色散型光谱仪和傅里叶光谱仪，其通常具有更大通道容量。但片上集成散斑生成与读取系统为实现大通道数带来挑战：传统光谱-空间映射需密集波导与探测器阵列容纳所有光谱通道，显著增加芯片面积，且波导间距导致空间采样过程丢失光谱信息。本研究采用多模光栅与成像相机替代方案，兼具成像处理灵活性与结构紧凑性。如图5a所示，通过对先进片上光谱仪性能对比可知，尽管散斑光谱仪因通道数优势显著提升光谱分辨率，但其分辨率与紧凑性存在权衡（表现为对比度因子CFR随分辨率提升而降低）。本方案突破该限制，实现通道密度新标杆。追求高分辨率通常受限于光学带宽，理论上增加光谱通道可同步提升两者性能，但需大芯片面积支撑。因此提升通道密度是微型高性能光谱仪的关键方向。如图5b所示，已报道高分辨率散斑光谱仪带宽普遍受限，而通过提升CFR可扩展工作带宽（曲线趋势所示）。本方案CFR性能远超现有记录，且通过进一步提升CFR具备优异可扩展性。该光谱仪采用商用硅光工艺制造，完全兼容成熟硅微电子集成平台，具备高可靠性与大规模低成本量产潜力。分层超表面结构作为新型散斑光谱仪，可通过增加CFR进一步提升性能，并可在可见光或中红外等多材料平台实现波长范围扩展。

图1 | 结构示意图与超表面设计
a) 光谱仪结构示意图。
b) 缝隙阵列透射率仿真结果。
c) 准直超透镜示意图。
d) 准直透镜相位分布。
e) 光波准直光场分布仿真。
f) 缝隙阵列相位分布仿真。
g) 无序超表面结构示意图。
h) 无序超表面相位分布。
i) 超表面传播光场仿真。

图2 | 可扩展光谱仪性能评估
a) 多层无序超表面结构示意图及散斑图案。
b) 不同层超表面光谱相关函数对比。
c) 平板波导输出面1D散斑直接采样。
d) 双层层无序超表面结构：平板波导1D散斑与光栅衍射2D散斑采样。
e) 波导采样与光栅采样场景光谱相关函数对比。
f) 2D散斑数据立方体构建。
g) 波矢量调控方法示意图。
h) 不同调控角度下的传输效率仿真。
i) 不同调控角度波前相位分布。
j) 固定波矢与波矢调控条件下的光谱相关函数对比。
k) 光栅采样结合波束调控的多数据立方体扩展方案。

图3 | 光谱仪实验表征
a) 器件光学显微图像。
b) 准直超透镜局部放大图。
c) 无序超表面局部放大图。
d) 输入波长1551-1554 nm时的输出散斑图案测量结果。
e) 全波长通道散斑强度融合矩阵。
f) 光谱仪归一化光谱相关函数实测曲线。

图4 | 任意光谱重建实验结果
a) 70 pm间隔双谱线重建（插图为局部放大特征）。
b) 85 nm间隔双峰光谱重建。
c) 不同强度三峰光谱重建。
d) 宽带背景叠加窄带谱线的混合光谱重建。
e) 100 nm带宽（1498-1598 nm）连续谱线重建。
f) 不同波长下的相对重建误差ε分析。

图5 | 光谱仪性能对比总结
a) 对比度因子（CFR）与光谱分辨率（δλ）关系。
b) 对比度因子（CFR）与光学带宽关系。本方案在100 nm带宽内实现70 pm分辨率，通道密度达10021 ch/mm²，性能超越现有技术。

参考文献：

• Zhang, Z., Xiao, S., Song, Q. et al. Scalable on-chip diffractive speckle spectrometer with high spectral channel density. Light Sci Appl 14, 130 (2025).
  DOI：https://doi.org/10.1038/s41377-025-01797-y

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