[超表面综述分享-4] npj Nanophotonics-从可见光至紫外波段非线性超表面-香港城市大学

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论文基本信息

标题： All-dielectric nonlinear metasurface: from visible to vacuum ultraviolet
作者：
Zhihui Wang（香港城市大学电机工程系）；
Rong Lin（香港城市大学电机工程系）；
通讯作者：Jin Ya（香港城市大学电机工程系）；
通讯作者：蔡定平（香港城市大学电机工程系）
发表时间： 2025年1月24日（2024年9月20日投稿，2024年11月19日接收）
发表期刊： npj Nanophotonics

**图表数量：**图（5张）；表（2个）

**参考文献数量：**165

论文快览

**摘要：**全电介质非线性超表面因具备更高损伤阈值与谐振模式灵活调控优势，逐渐从可见光拓展至真空紫外（VUV）波段研究。本文综述其理论框架：通过谐振模式增强局域电磁场并促进非线性极化。在解析非线性效率提升机制基础上，探讨非线性调控策略，并展望未来研究方向。

未来展望：尽管全电介质非线性超表面在可见光波段的高效非线性调控已取得显著进展，但在真空紫外（VUV）波段的非线性效应研究仍面临严峻挑战。首先，受限于纳米结构加工精度，VUV波段所需的亚波长线宽制造技术尚未成熟，导致高Q值谐振模式的设计与实现受限。现有基于长波长泵浦激发高次谐波（HHG）的方案虽可间接产生短波长光，但其多重谐波混杂特性导致目标波长信号难以有效分离，且加工误差对谐振结构鲁棒性的影响进一步制约了非线性效率的提升。尽管针对对称性保护的连续域束缚态（BIC）超表面已提出非对称椭圆结构优化策略，但普适性设计原则的缺失仍阻碍其在复杂谐振体系中的广泛应用，难以满足光刻与高能物理等领域对高功率VUV光源的需求。未来研究可从以下三方面突破：其一，引入集成谐振单元（IRUs），借鉴线性超表面中多谐振模式协同增强性能（如效率、带宽及多功能性）的设计理念，探索其在非线性域的跨波段响应优化潜力，通过单元内多模式耦合提升VUV非线性极化强度；其二，利用非局域效应平衡高Q值谐振与相位操控的矛盾，通过调控超原子近场相互作用及周期性扩展模式，实现效率增强与波前调制的协同优化，此类非局域超表面已在暗场辐射、高Q值波前整形及非线性生成中展现潜力；其三，借助人工智能（AI）逆向设计算法优化非线性超表面布局，突破传统抛物面聚焦轮廓的局限，通过参数化建模与拓扑优化提升非线性功率密度，为短波长非线性器件的性能跃迁提供新范式。

论文图表

图1 | 本综述结构图。可见至紫外波段非线性材料（铌酸锂、砷化镓、硅、氧化锌、二氧化钛等）在强泵浦光作用下通过非线性极化产生谐波。未结构化薄膜非线性效率较低，需引入谐振增强局域场强。超表面设计灵活性可调控非线性光特性实现功能化：辐射整形提升收集效率；偏振/振幅/相位调制实现非线性成像、涡旋光生成及多路全息等。

图2 | 多极共振增强非线性极化。纳米谐振器多极展开式是分析其共振模式的基础，至少存在一种极性共振模式。不同极性共振或跨谐振器共振相互作用可形成高Q值模式（如连续域束缚态（BIC）与法诺共振），显著增强二次谐波（SHG）、和频（SFG）、差频（DFG）、三次谐波（THG）及四波混频（FWM）等非线性过程的极化效率。

图3 | 全电介质超表面非线性效率增强案例。(a) 基于BIC的GaAs超表面生成复杂量子态；(b) AlGaAs亚波长谐振器利用BIC增强可见波段高次谐波；© 硅超表面通过法诺共振提升可见波段三次谐波；(d) ZnO超表面借助磁共振增强真空紫外辐射。

图4 | 全电介质超表面非线性调控实例。(a) 纳米椅结构超表面调控非线性辐射方向图；(b) 硅超表面实现超快非线性调制；© 振幅调制实现非线性光非对称传输；(d) 几何相位调制超构透镜生成聚焦真空紫外光。

图5 | 全电介质非线性超表面发展前景。(a) 红外-可见-紫外（IRU）超表面非线性生成概念；(b) 高Q非局域超表面大幅提升非线性转换效率；© 人工智能算法设计定制化非线性超表面。

表1 | 不同非线性超表面材料参数

表2 | 不同非线性效率增强策略对比

参考文献：

• Wang, Z., Lin, R., Yao, J. et al. All-dielectric nonlinear metasurface: from visible to vacuum ultraviolet. npj Nanophoton. 2, 4 (2025).
  DOI：https://doi.org/10.1038/s44310-024-00050-5

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