光刻胶使用注意事项

     

一.目的

使作业人员掌握光刻胶性质及安全、光刻胶更换操作及应急反应措施，确保光刻区的正常工作及必要的安全保证，特制定本规程。

二.适用范围

本规程适用于本厂光刻胶使用与更换作业全过程。

• 光刻胶的性质

光刻胶又称光致抗蚀剂，是一种对光敏感的混合液体。其组成部分包括：光引发剂（包括光增感剂、光致产酸剂）、光刻胶树脂、单体、溶剂和其他助剂。

• 危险

易燃，遇明火、高热能燃烧。受高热分解放出有毒的气体。其蒸气与空气可形成爆炸性混合当达到一定浓度时，遇火星会发生爆炸。

• 健康危害

高浓度蒸汽刺激眼和呼吸道，经常吸入对肾脏有损伤。

• 应急措施

应使吸入蒸气的患者脱离污染区。安置休息并保暖，眼睛受刺激用水冲中洗，对溅入眼内的严重患送医院诊治。皮肤接触用溶剂擦洗，再用肥皂彻底洗涤。误服立即漱口，送医院救治。

七．操作处置与储存

1.温度：光刻胶应存放在低温环境下，一般建议存放在-20°C以下的冰箱中，避免光刻胶受热变质。同时，光刻胶在存放和使用过程中应避免受到温度变化的影响，以免影响基性能和质量。

2.光照：光刻胶应避免直接暴露在强光下，以免光刻胶受到光照而失去灵敏度。因此，在存放和使用光刻胶时，应尽量避免光照，可以使用黑色遮光袋或黑色遮光箱进行保护。

3.湿度：光刻胶应存放在干燥的环境中，避免受潮。因为潮湿的环境会影响光刻胶的性能和质量，甚至会导致光刻胶失效。因此，在存放和使用光刻胶时，应尽量避免受潮，可以使用密封袋或密封容器进行保护。

4. 震动：光刻胶应避免受到剧烈的農动和振动，以免影响其性能和质量。因此，在仔放和使用光刻胶时，应尽量避免受到震动和振动，可以使用泡沫箱或其他缓冲材料进行保护。

八．光刻胶的注意事项

1.光刻胶在使用前应先放在防爆柜内静置24小时进行除冰，以免出现结块或凝固的现象，并消除运送过程中可能因震动带来的气泡。

2.光刻胶在使用过程中应避免受到污染和杂质的影响，以免影响其性能和质量。

3.光刻胶的使用量应根据实际需要进行控制，避免浪费和过度使用。

九．光刻胶的保存期限

光刻胶的保存期限一般为6个月至1年左右，具体时间取决于光刻胶的种类和保存条件。因此，在存放和使用光刻胶时，应注意光刻胶的保存期限，避免使用过期光刻胶。

• 光刻胶的更换

1. 在机台操作面板上的报警信息中查看是那一管PR报空；然后打开chemical box再次确认PR是否真的报空。
2. 推减震推车到防爆柜中取出需要更换的PR，并找另一名同事进行二次确认拿到的PR和机台上报空的PR为同一类型。
3. 拿出承漏盘放在chemical box旁边，轻轻将空的PR瓶取出放在承漏盘内，然后将新PR从袋子里取出也放在承漏盘内，这时需要再次确认两瓶PR为同一类型。
4. 进行更换之前应戴好防溅面罩，更换完毕以后，插上氮气管进行排气，排气完成以后一定要把氮气管从PR瓶上拔下来。
5. 至此PR更换完毕，将chemical box门关好，将PR空瓶收好；推车放回原位。