F-Theta扫描透镜的性能评估

原创 于 2025-11-06 09:18:14 发布 · 275 阅读 · 4 ·
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摘要

在激光扫描系统中，F-Theta镜头通常被设计用于提供高性能。使用此类透镜，在目标平面上的聚焦点位移与焦距和扫描角度的产生成正比。这使得它们成为基于Galvo扫描器的激光材料处理系统的标准镜头。在VirtualLab Fusion中扫描源的帮助下，通过测量实际光斑位置与期望值之间的偏差和不同角度下光斑的大小，分析了给定F-Theta透镜的性能。

建模任务
 

性能评估——光斑直径测量
 

性能评估——光斑位置偏差
 

走进VirtualLab Fusion
 

VirtualLab Fusion的工作流程
 

 从Zemax OpticStudio®导入透镜系统

- 从Zemax导入光学系统 [用例] 

 分析实际透镜系统的成像性能

- 分析高NA物镜聚焦 [用例] 

 利用参数运行检查不同参数的影响

- 参数运行文档的使用 [用例] 
 

VirtualLab Fusion技术

  


 

文件信息


 

延伸阅读
- 激光扫描系统性能分析
- 如何建立扫描光源

畸变分析器
Bonnie1985119的博客
10-07 1279
镜头是成像系统设计的一个组成部分。因此，对任何光学工程师来说，能够详细分析它们的性能是至关重要的。一个众所周知的不利影响是畸变，它导致光束的横向位置相对于焦平面的参考位置的偏差。在这个使用案例中，我们介绍了一个工具，以球面透镜为例，研究这种效应。
zemax场曲/畸变图与网格畸变图
fendoudecheng的博客
10-03 7298
当一个有畸变的光学系统对一个方形的网状物体成像时,若δy>0，则主光线的交点高度y比理想像高y低,视场越大，低得越多，形成一啤酒桶形状的图像,故又称正畸变为桶形畸变；场曲/畸变分析图里面列举了四种畸变类型：F-tan畸变，F-theta畸变，校正的F-tan畸变，校正的F-theta畸变。畸变值的大小和光阑位置有关，如果在光阑两边的光学系统结构相互对称，且全系统的垂轴放大率为-1，则光学系统的垂轴像差为0.子午场曲数据是沿着Z轴测量的从当前所确定的聚焦面到近轴焦面的距离，并且是在子午（YZ 面）上测量的。
F-Theta扫描镜头的性能评估
Bonnie1985119的博客
09-01 1209
F-Theta 透镜通常用于Galvo类扫描仪的激光材料加工系统。 对于这样的镜头，聚焦点沿目标平面的位移与镜头焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，没有完美的 F-Theta 系统，因此在任何给定的系统中都会出现与理想行为的偏差。 借助快速物理光学建模和设计软件 VirtualLab Fusion 中的扫描源，我们通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差来分析给定 F-Theta 透镜的性能。...
基于ZEMAX的F-theta透镜设计与优化
02-07
基于ZEMAX的F-theta透镜设计与优化，喻超，赵同刚，目前国内用于激光扫描的F-theta镜头的工作面积一般直径不超过420 mm。国外虽然有面积较大的F-theta透镜，但结构复杂。通过初级像差分析�
F-θ镜头
yh的博客
10-22 2269
此外，F-θ镜头的设计还需要考虑场曲的要求，因为激光扫描系统通常使用单色光，为了保证扫描质量，整个像面应成平面且像质一致，满足等晕条件。对于理想薄透镜，光束的偏转角度与轨迹位置的关系为Y=F*tan(θ)，这种非线性关系会使得匀速偏转的振镜扫描速度与轨迹运动速度是不匹配的，导致扫描轨迹不均匀或者说点密度不一致。F-θ镜头的设计要求包括引入负的桶形畸变，校正系统的场曲，使匹兹伐尔场曲为零，轴外和轴上像质一致，整个像面成平面，且系统波像差小于 λ/4。为了实现平场聚焦透镜的最佳性能，反射镜的间隔应该最小。
VirtualLab Fusion应用：F-Theta扫描透镜的性能评估
Bonnie1985119的博客
02-05 295
F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描光源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。通过系统：​三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。
F-Theta物镜激光扫描系统的性能分析
Bonnie1985119的博客
11-13 686
 一个激光扫描系统的扫描光学部分包含了一个扫描仪单元和一个F-Theta物镜，在一维扫描过程中（沿入射角Theta），通过分析光束的场曲和畸变来评估其性能。 为了更好地说明反射镜X和Y倾斜角和入射扫描角Theta之间的非线性关系，执行相似的参数运行（此过程中没有使用扫描光学原价n）（参见下图）。 此外，扫描位置位于非等距网格，由镜子倾斜和实际入射扫描角Theta之间的非线性关系生成（想要更多细节，参见下一张幻灯片）。 为了在探测器平面（视野场）评价扫描场的大小，可以执行一个扫描过程。
F-theta透镜设计：国内与ZEMAX优化的突破
F-theta透镜是一种特殊的光学系统，它的焦线与入射光束的角度成线性关系，这在激光扫描应用中具有广泛的优势，如高精度、宽工作区域和良好的线性特性。然而，国内目前的F-theta透镜在工作面积上存在限制，通常直径不...
使用非球面透镜对激光扫描系统进行性能分析
Bonnie1985119的博客
11-19 651
通过寻找焦点位置工具（Find Focus Position Tool），场曲和畸变探测器可以测量3D焦点位置，且光束位置依赖于在扫描光学之前的球形输入角θ的在屏幕上的测量光束位置。一个激光扫描系统的扫描光学部分包含了一个扫描仪单元和一个非球面透镜，在一维扫描过程中（沿入射角Theta），通过分析光束的场曲和畸变来评估其性能。对于一个平面成像面，这是测量离轴光束的离焦的一个标准。畸变是输入扫描角到偏转光束的理想探测器位置的线性测量，因此，畸变是探测器平面上光束位置像差的一个影响条件。
大工作面F-Theta镜头的光学设计
02-12
目前国内用于激光标刻机的F-Theta镜头的工作面积一般不超过420 mm。国外虽有面积较大的F-Theta镜头,但结构复杂。通过初级像差分析,确定了镜头的初始结构参量,利用光学设计软件优化得到了工作面积为680 mm的F-Theta镜头,它由四片两种普通玻璃球面透镜构成,光学筒长不到100 mm,具有结构简单紧凑,聚焦性能接近衍射极限、线性畸变小的优点,满足大工作面打标的使用要求。
F-THETA 扫描镜头
Bonnie1985119的博客
09-01 479
对于高功率激光扫描系统领域中的许多应用，重要的是要确保离轴焦点位于焦平面上，而不是像常规球面透镜那样在曲面上。 F-theta 镜头的开发考虑了这一要求，旨在将入射的准直光束聚焦到一个焦点上，该焦点的横向位移理想情况下与扫描角度线性相关。...
F-THETA 扫描透镜
Bonnie1985119的博客
11-02 680
F-Theta镜头通常用于高性能激光扫描系统中，用于产生焦点，这些焦点的侧向位移线性地取决于扫描角。这是在通常情况下，如激光材料加工应用，所要求的特性。 在VirtualLab Fusion中，我们为此类情况提供了扫描光源，并结合使用了不同的场求解器，可以方便地评估此类扫描透镜系统的性能。
Zemax设计实例：激光扫描物镜（F-theta透镜）设计
最新发布
m0_68553508的博客
04-02 1462
‌‌：激光打标系统，波长1064nm，扫描视场±150mm，焦距f=300mm。
F-Theta 扫描透镜的性能评价
Bonnie1985119的博客
02-02 339
F-Theta镜头通常设计用于在激光扫描系统中以提高系统性能。利用这种透镜，目标平面上的聚焦光斑位移量与系统的焦距和扫描角度成比例。使其成为基于galvo-scanner激光材料处理系统的标准镜头。利用VirtualLab中的扫描光源，我们通过测量实际光斑位置和期望值之间的偏差以及不同角度的光斑尺寸来分析F-Theta镜头的性能。
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