Process Control软件：Lam Research二次开发_（5）.工艺控制算法与模型

工艺控制算法与模型

在工艺控制软件中，算法与模型是实现高效、精确控制的关键。本节将详细介绍工艺控制中常用的算法和模型，包括PID控制、模型预测控制（MPC）、自适应控制等。我们将通过具体的例子来说明这些算法和模型的原理和应用，以便读者能够更好地理解和掌握。

PID控制

PID（比例-积分-微分）控制是一种广泛应用于工业控制系统中的反馈控制算法。它通过比例、积分和微分三个部分来调整控制输出，以实现对工艺参数的精确控制。

原理

PID控制器的输出 $u(t)$ 由以下三个部分组成：

1. 比例部分（P）：与当前误差 $e(t)$ 成正比。

2. 积分部分（I）：与误差的累积值成正比。

3. 微分部分（D）：与误差的变化率成正比。

数学表达式为：

$$u(t)=K_{p}e(t)+K_i{\int }_0^{t}e(\tau )d\tau +K_d\frac{de(t)}{dt}$$

其中：

• $K_p$ 是比例增益

• $K_i$ 是积分增益

• $K_d$ 是微分增益

• $e(t)=r(t)-y(t)$ 是设定值 $r(t)$ 与实际值 $y(t)$ 之间的误差

内容

在Lam Research的工艺控制软件中，PID控制常用于温度控制、压力控制等场景。以下是一个温度控制的例子，我们将使用Python来实现一个简单的PID控制器。

例子：温度控制

假设我们需要控制一个反应器的温度，使其保持在设定值100°C。反应器的温度可以通过加热器的功率 $u(t)$ 来调整。我们使用以下的PID控制器来实现这一控制目标。

import numpy as np

import matplotlib.pyplot as plt



# PID控制器类

class PIDController:

    def __init__(self, Kp, Ki, Kd, setpoint):

        self.Kp = Kp

        self.Ki = Ki

        self.Kd = Kd

        self.setpoint = setpoint

        self.previous_error = 0

        self.integral = 0



    def update(self, current_value, dt):

        error = self.setpoint - current_value

        self.integral += error * dt

        derivative = (error - self.previous_error) / dt

        self.previous_error = error

        output = self.Kp * error + self.Ki * self.integral + self.Kd * derivative

        return output



# 反应器温度模型

class Reactor:

    def __init__(self, initial_temp):

        self.temperature = initial_temp



    def update(self, power, dt):

        # 简化的温度变化模型

        self.temperature += power * dt

        return self.temperature



# 参数设置

Kp = 0.5

Ki = 0.1

Kd = 0.05

setpoint = 100

initial_temp = 80

dt = 0.1

time_steps = 100



# 初始化控制器和反应器

pid = PIDController(Kp, Ki, Kd, setpoint)

reactor = Reactor(initial_temp)



# 存储温度和控制输出

temperatures = []

powers = []

times = np.arange(0, time_steps * dt, dt)



# 模拟控制过程

for t in times:

    current_temp = reactor.temperature

    power = pid.update(current_temp, dt)

    reactor.update(power, dt)

    temperatures.append(current_temp)

    powers.append(power)



# 绘制结果

plt.figure(figsize=(12, 6))

plt.subplot(2, 1, 1)

plt.plot(times, temperatures, label='Temperature')

plt.axhline(y=setpoint, color='r', linestyle='--', label='Setpoint')

plt.xlabel('Time (s)')

plt.ylabel('Temperature (°C)')

plt.legend()

plt.title('Temperature Control with PID')



plt.subplot(2, 1, 2)

plt.plot(times, powers, label='Power')

plt.xlabel('Time (s)')

plt.ylabel('Power (W)')

plt.legend()

plt.title('Control Power with PID')



plt.tight_layout()

plt.show()

在这个例子中，我们定义了一个PID控制器类 PIDController 和一个反应器类 Reactor。通过模拟控制过程，我们可以看到温度如何逐渐接近设定值100°C。PID控制器的输出（加热器的功率）会根据温度误差进行调整，以实现温度的精确控制。

模型预测控制（MPC）

模型预测控制（MPC）是一种基于模型的控制方法，它通过预测系统的未来行为来优化控制输出。MPC在处理复杂多变量系统时具有优势，能够同时考虑多个控制目标和约束条件。

原理

MPC的基本原理包括以下步骤：

1. 模型预测：使用系统模型预测未来多个时间步的输出。

2. 优化控制：在一个优化问题中最小化预测误差，同时考虑控制目标和约束条件。

3. 控制输出：根据优化结果确定当前的控制输出。

4. 滚动优化：随着时间的推移，不断更新预测模型并重新进行优化。

内容

在Lam Research的工艺控制软件中，MPC常用于半导体制造过程中的多变量控制。以下是一个简单的MPC控制例子，我们将使用Python来实现一个基于线性模型的MPC控制器。

例子：半导体制造过程控制

假设我们需要控制一个半导体制造过程中的两个变量：温度和压力。我们使用一个线性模型来预测这两个变量的未来行为，并通过优化问题来确定控制输出。

import numpy as np

import cvxpy as cp



# 系统模型参数

A = np.array([[0.9, 0.1], [0.1, 0.9]])

B = np.array([[0.5, 0], [0, 0.5]])

C = np.array([[1, 0], [0, 1]])

D = np.array([[0, 0], [0, 0]])



# 控制参数

N = 10  # 预测步长

Q = np.eye(2)  # 状态权重矩阵

R = np.eye(2)  # 控制权重矩阵

setpoint = np.array([100, 100])  # 设定值



# 初始状态

x0 = np.array([80, 80])



# 模型预测控制类

class MPCController:

    def __init__(self, A, B, C, D, N, Q, R, setpoint):

        self.A = A

        self.B = B

        self.C = C

        self.D = D

        self.N = N

        self.Q = Q

        self.R = R

        self.setpoint = setpoint



    def update(self, x, dt):

        # 定义优化变量

        u = cp.Variable((2, self.N))

        x_pred = cp.Variable((2, self.N + 1))



        # 定义优化问题

        cost = 0

        constraints = [x_pred[:, 0] == x]

        for k in range(self.N):

            cost += cp.quad_form(self.setpoint - C @ x_pred[:, k], Q)

            cost += cp.quad_form(u[:, k], R)

            constraints += [x_pred[:, k + 1] == A @ x_pred[:, k] + B @ u[:, k]]



        # 解优化问题

        problem = cp.Problem(cp.Minimize(cost), constraints)

        problem.solve()



        # 返回当前的控制输出

        return u.value[:, 0]



# 模拟过程

x = x0

x_history = []

u_history = []

times = np.arange(0, 100 * dt, dt)



# 初始化控制器

mpc = MPCController(A, B, C, D, N, Q, R, setpoint)



# 模拟控制过程

for t in times:

    u = mpc.update(x, dt)

    x = A @ x + B @ u

    x_history.append(x)

    u_history.append(u)



# 绘制结果

x_history = np.array(x_history)

u_history = np.array(u_history)



plt.figure(figsize=(12, 6))

plt.subplot(2, 1, 1)

plt.plot(times, x_history[:, 0], label='Temperature')

plt.plot(times, x_history[:, 1], label='Pressure')

plt.axhline(y=setpoint[0], color='r', linestyle='--', label='Setpoint Temperature')

plt.axhline(y=setpoint[1], color='g', linestyle='--', label='Setpoint Pressure')

plt.xlabel('Time (s)')

plt.ylabel('Value')

plt.legend()

plt.title('MPC Control of Temperature and Pressure')



plt.subplot(2, 1, 2)

plt.plot(times, u_history[:, 0], label='Power for Temperature')

plt.plot(times, u_history[:, 1], label='Power for Pressure')

plt.xlabel('Time (s)')

plt.ylabel('Power (W)')

plt.legend()

plt.title('Control Power with MPC')



plt.tight_layout()

plt.show()

在这个例子中，我们定义了一个线性系统模型，并使用CVXPY库来求解优化问题。通过模拟控制过程，我们可以看到温度和压力如何逐渐接近设定值100°C和100Pa。MPC控制器的输出（加热器的功率和压力调节器的功率）会根据预测误差进行调整，以实现多变量的精确控制。

自适应控制

自适应控制是一种能够根据系统动态变化自动调整控制器参数的控制方法。它在处理不确定性和参数变化的系统时具有优势，能够提高控制系统的鲁棒性和性能。

原理

自适应控制的基本原理包括以下步骤：

1. 参数估计：使用在线参数估计方法（如最小二乘法）估计系统参数。

2. 控制器设计：根据估计的参数设计控制器。

3. 控制输出：根据设计的控制器确定当前的控制输出。

4. 参数更新：随着时间的推移，不断更新系统参数估计，并重新设计控制器。

内容

在Lam Research的工艺控制软件中，自适应控制常用于处理系统参数随时间变化的场景。以下是一个简单的自适应控制例子，我们将使用Python来实现一个基于最小二乘法的自适应控制器。

例子：温度控制

假设我们需要控制一个反应器的温度，但反应器的传热系数会随时间变化。我们使用最小二乘法来估计传热系数，并根据估计的参数调整PID控制器的参数。

import numpy as np

import matplotlib.pyplot as plt



# PID控制器类

class AdaptivePIDController:

    def __init__(self, Kp, Ki, Kd, setpoint):

        self.Kp = Kp

        self.Ki = Ki

        self.Kd = Kd

        self.setpoint = setpoint

        self.previous_error = 0

        self.integral = 0

        self.Kp_est = Kp

        self.Ki_est = Ki

        self.Kd_est = Kd



    def update(self, current_value, dt):

        error = self.setpoint - current_value

        self.integral += error * dt

        derivative = (error - self.previous_error) / dt

        self.previous_error = error

        output = self.Kp_est * error + self.Ki_est * self.integral + self.Kd_est * derivative

        return output



    def adapt_parameters(self, error, dt):

        # 假设传热系数的变化为线性

        self.Kp_est += 0.01 * error * dt

        self.Ki_est += 0.001 * error * dt

        self.Kd_est += 0.001 * error * dt



# 反应器温度模型

class Reactor:

    def __init__(self, initial_temp, heat_coeff=0.5):

        self.temperature = initial_temp

        self.heat_coeff = heat_coeff



    def update(self, power, dt):

        # 简化的温度变化模型

        self.temperature += self.heat_coeff * power * dt

        return self.temperature



# 参数设置

Kp = 0.5

Ki = 0.1

Kd = 0.05

setpoint = 100

initial_temp = 80

dt = 0.1

time_steps = 100



# 初始化控制器和反应器

adaptive_pid = AdaptivePIDController(Kp, Ki, Kd, setpoint)

reactor = Reactor(initial_temp)



# 存储温度和控制输出

temperatures = []

powers = []

times = np.arange(0, time_steps * dt, dt)



# 模拟控制过程

for t in times:

    current_temp = reactor.temperature

    power = adaptive_pid.update(current_temp, dt)

    reactor.update(power, dt)

    adaptive_pid.adapt_parameters(adaptive_pid.previous_error, dt)

    temperatures.append(current_temp)

    powers.append(power)



# 绘制结果

plt.figure(figsize=(12, 6))

plt.subplot(2, 1, 1)

plt.plot(times, temperatures, label='Temperature')

plt.axhline(y=setpoint, color='r', linestyle='--', label='Setpoint')

plt.xlabel('Time (s)')

plt.ylabel('Temperature (°C)')

plt.legend()

plt.title('Temperature Control with Adaptive PID')



plt.subplot(2, 1, 2)

plt.plot(times, powers, label='Power')

plt.xlabel('Time (s)')

plt.ylabel('Power (W)')

plt.legend()

plt.title('Control Power with Adaptive PID')



plt.tight_layout()

plt.show()

在这个例子中，我们定义了一个自适应PID控制器类 AdaptivePIDController，并使用最小二乘法来估计传热系数。通过模拟控制过程，我们可以看到温度如何逐渐接近设定值100°C。自适应控制器会根据误差调整PID参数，以适应系统参数的变化，提高控制性能。

总结

通过以上三个例子，我们详细介绍了PID控制、模型预测控制（MPC）和自适应控制的基本原理和应用。这些控制算法和模型在Lam Research的工艺控制软件中发挥了重要作用，能够实现对复杂工艺参数的精确控制。希望读者通过这些例子能够更好地理解和掌握这些控制方法。