光学算法——移相干涉

 前言

在光学计量中，相移干涉术是用于测量光学元件表面微观形貌和波前相位的高精度方法。由于环境中的随机振动会影响相移过程中干涉图对比度变化，影响干涉条纹图采样，造成条纹模糊，还会使得相移量偏离设定值，大大降低测量精度甚至无法测量。因此，为了提高对环境的抗干扰能力，研究者们提出了多种算法来提高相移干涉测量的精度和稳定性

 一.移相算法（对多幅干涉图）的基本原理

通过移动相位进行测量，三步移相代表在原本的相位上加上三个间隔相等的相位值，同理可得四步相位，但四步相位运用较为广泛，引起误差较小。那么改变相移的有哪些呢？改变相移的有压电陶瓷相移器（PZT），光栅相移器等，四步移相（假设了移动0，pi/2，pi，3pi/2四个相位）。