MFM/MFC的使用方面有什么注意事项？

MFM/MFC的使用方面有什么注意事项？ 

(1)注意阅读产品说明书及有关资料

(2) 注意轻拿轻放妥善保管

MFM/MFC比较精密，应避免受到撞击和强烈振动。产品不用时注意放在较好的环境中妥善保管。

(3) 注意系统设计

用户购买MFM/MFC后，往往要组建一个系统。建议在系统设计时，不要仅仅考虑功能的实现，还要考虑系统的可靠性﹑安全性﹑易操作性﹑易维护性﹑易扩充性等因素。以下给出几点具体建议：

A. 注意加装过滤器，以净化气源，延长MFM/MFC的使用寿命。

B. 对于反应系统，建议在MFC的出气端加装单向阀，以防止异常情况下反应物倒流损坏 MFC。

C. 对于高压系统，应在MFC的下游加装背压阀（或其它节流装置）及压力表，以便于保证MFC的工作压差。

D. 对于硅烷这样的遇空气易形成结晶的气体，应特别注意系统的密闭性（检漏时不要忽视减压器），必要时设计吹洗旁路，随时进行氮气吹洗或正压保持。

E. 对于要求比较高的气路系统, 注意气路接头尽量减少并采用VCR等接头。对于使用有害气体的系统，必须严格检漏。气路柜应有排风系统, 防止对人员和设备的损伤。

F. 有高频源的系统应注意屏蔽并特别注意处理好接地问题，例如采用单点接地。

G. MFM/MFC的安装位置应易于装卸﹑检测﹑调零，并安全可靠。 

H. 对可靠性要求极高的系统，应注意冗余设计。

(4) 注意正确使用操作

对于比较复杂的系统或使用有害气体的系统，应当制定完善的安全操作规程, 防止发生误操作。

(5) 注意使用气体与流量计的密封材料相适应

流量计通常采用的密封材料是氟橡胶，能适合大多数气体的使用，包括HCL这样的强腐蚀性气体。但对于氨气，必须使用耐氨橡胶；对于有机溶剂类气体，如丙酮、甲苯等，必须使用硅橡胶；对于使用三氯化硼、三溴化硼等强腐蚀性介质，必须使用四氟密封或金属密封的流量计。用户在订货和使用中必须特别注意。

 (6) 注意定期标定

质量流量计原则上应当定期标定。