泰伯效应.

在衍射光学中,当周期性结构被准直光照射时,可以观察到在物体后面周期性距离处形成的周期性结构的图像。这就是众所周知的 Talbot 效应(用所谓的 Talbot 距离来描述周期性间隔),它已经在例如光刻中得到了常规应用。

利用快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion的场跟踪技术,可以充分研究这种效应及其应用。请看下面的例子,在这些例子中,我们用线性和交叉图案演示Talbot效应的基本原理,并更仔细地研究特定的光刻应用,以产生纳米结构。

圆锥相位掩模版的泰伯成像
 

在VirtualLab Fusion中对带有一层圆锥体的相位掩模板进行了严格的建模。检测到不同的Talbot图像,其中柱图案在主图像平面中再现,而孔图案在次图像平面中再现。

泰伯效应的建模
 

我们演示了Talbot效应的建模,Talbot效应是一种众所周知的来自周期结构(如光栅)的近场衍射效应。

塔尔伯特效应是一种近场衍射现象,其中光栅或其他周期性结构的自成像在某些成像平面上复制,在成像处理和合成,光刻,光学测试,光学计量,光谱学,光学,光学等领域具有多种应用。计算。 铌酸锂晶体(LiNbO3)是非线性光学应用中广泛使用的铁电材料之一。 特别地,在LiNbO3晶体中创建各种形状和大小的反平行铁电畴是非线性光学和电光学的关键。 图案化的电场极化是制造域回复结构的最有前途的方法之一。 施加外部电场,可实现晶体铁电畴之间的相位步进。 周期性极化的LiNbO3晶体用作Talbot效应相位光栅,在其上可以通过施加外部电场来调整相位差,以优化自成像并补偿热光效应。 本文从理论和实验上介绍了一种基于由周期性极化的掺Mg的LiNbO3晶体制成的电光可调谐相位光栅的六角相衬Talbot阵列照明器。 数值模拟证明了外部电场和衍射距离对衍射场强度分布的影响。 按照理论预测,通过调制相位差和塔尔伯特距离可以成功获得532nm激光的塔尔伯特衍射成像。 强度分布与模拟结果吻合良好。 进一步的模拟结果表明,在较低的电场下,以适当的衍射距离可以在六边形样品区域中实现较高的光压缩比。 对于占空比为63%的六边形相位光栅,在0.80π的相位差和0.38倍Talbot距离的衍射位置下可获得4.2单位的最高光压缩率。
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