摘要
可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。
傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）
建模任务
单次FMM仿真结果
参数扫描（1D）
参数扫描（2D）
文件信息
使用傅里叶模态法分析闪耀光栅
最新推荐文章于 2023-03-02 09:51:08 发布
摘要
可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。
傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）
建模任务
单次FMM仿真结果
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