摘要
可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。
傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
建模任务
单次FMM仿真结果
参数扫描(1D)
参数扫描(2D)
文件信息
摘要
可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。
傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
建模任务
单次FMM仿真结果
参数扫描(1D)
参数扫描(2D)
文件信息