薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模

薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模

摘要

 


                                                     

薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现

                                                            

建模任务                                                        

光栅元件   
 

                                                    

通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到:

• FMM/RCWA

• Diffractive Lens Component

                                                            

正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       

                                                

 

正弦光栅-传输相位形态     

                                                

 

正弦光栅-传输相位形态                                                        


 

正弦光栅-衍射效率

                                                        

 

正弦光栅-效率vs. 周期                                                       


  

 

正弦光栅—选定周期的相位形态   
                                   

 

                                                            

闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 

                                                      

 

闪耀光栅-传输相位形态                                                        


 

 

闪耀光栅-衍射效率                                                        


 

                                                            

闪耀光栅-效率vs.周期                                                        


 

                                                            

闪耀光栅-选定周期相位形态                                                        


 

                                                            

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文件信息

 

                                              

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