应用案例 | 台积电为保证光罩运输质量选择MSR冲击振动记录仪！内含台积电工程师专访

晶圆运输需要注意什么？

晶圆运输是半导体制造过程中极为关键和敏感的一环。在晶圆运输过程中，需要注意以下几点：

1.静电防护

晶圆非常容易受到静电的干扰，因此在运输过程中需要遵守严格的静电防护措施。使用适当的静电防护包装材料和避免静电产生的行为，如使用导电鞋垫和穿戴适当的防静电服装。

2. 真空环境

晶圆在运输过程中需要处于洁净和真空的环境中，以防止灰尘和污染物对晶圆的影响。运输过程中应使用密封良好的容器和避免碰撞或振动。

3. 温度和湿度控制

晶圆对温度和湿度变化非常敏感，因此在运输过程中需要严格控制这些参数。使用恒温恒湿的运输设备和确保适当的温湿度范围，以防止晶圆受损或质量受影响。

4. 防碰撞和防震

晶圆是非常脆弱和易碎的，需要避免碰撞和震动。在运输过程中，应使用适当的防震包装和避免粗暴的操作，以保护晶圆的完整性。

5. 运输记录和追踪

为了确保晶圆的运输过程可追踪和监控，应使用适当的运输记录和追踪系统。这将有助于追踪晶圆的位置和状态，以及及时处理任何潜在的问题。

因此晶圆运输需要非常严格的控制和保护措施，以确保晶圆的质量和完整性不受损害。

HK-MSR175Plus能够做到什么？

HK-MSR175plus的主要功能是监测和记录运输过程中的温度、湿度、压力和位置数据。它配备了内置的GPS模块，可以准确记录物品的位置信息，并可通过无线方式将数据传输到计算器或移动设备上进行分析和评估。

这款产品非常适合用于物流和运输行业，特别是在需要对货物进行长途运输或特殊环境下的监测时。它可以帮助用户实时监测运输过程中的温度和湿度变化，以确保货物的质量和完整性。

HK-MSR175plus具有高精度和可靠性，能够提供详细的数据报告和图表，以便用户进行分析和比较。该设备还具有耐用的外壳，能够承受艰苦的运输环境，并具有长电池寿命，确保长时间的监测工作。

使用HK-MSR175plus，您可以有效地管理和控制运输过程中的各种参数，以确保产品的安全性和质量。这对于需要高度可靠监测的行业，例如食品和药品行业，尤其有用。

总之，HK-MSR175plus是一款功能强大的 GPS 数据记录器，为运输监测提供了全面的解决方案，帮助用户实时监测货物的温度、湿度、压力和位置，确保货物在运输过程中的安全和质量。

台积电工程师专访

Q1：「HK-MSR175plus冲击运输数据记录仪」在台积电主要应用在哪些场域？(用在哪些产品的运输？每一趟运输的时间、距离？)

A1：我们将HK-MSR175Plus应用在台湾与美国的运输中。因为在运输过程中会产生量的上下左右振动，所以我们需要了解传送振动的实际g値，并且规范出最大的振动范围。平均一趟的来回运输时间约为 9 天，距离约 25,000 公里。

Q2：众多相关产品之中，台积电为何选择「HK-MSR 175plus」？(哪些特点吸引购买？价格、质量、功能性…？它跟其他类似的替代方案比有哪些更好的特点？)

A2：由于我们需进行长距离的测试，HK-MSR175plus本身具有的高电量与高内存特性，让测量变得较为容易，有些厂商会因为时间一长，振动数据记录太多，而内存容量不够导致数据遗失。

Q3：在使用「HK-MSR175plus」的过程中，它对台积电的工作或业务产生了什么样的帮助？(运输过程中的安全性产生了什么影响？相较之前使用的产品是否有哪些层面提升？)

A3：使用HK-MSR175Plus后能帮助台积电更了解振动对光罩的影响，并且实际规范出量化的数值，防范未来振动对光罩的影响，提升光罩传送的成功率。

Q4：这是属于一次性的需求吗？之后国内外的厂房建置是否会有复制需求？

A4：未来光罩在往返台湾与美国的途中，会添置HK-MSR数据记录仪以监测运输过程中所产生的振动数值。

Q5：最后，作为台积电的工程师，您会推荐这项产品吗？(是/否。推荐原因？推荐给哪些人使用？)

A5：会，非常推荐给需要量化振动数据的厂商或工程师们使用！