质量流量控制器控制氩气供应

元素分析的ICP-AES方法使用等离子体产生待测样品中元素的激发原子和离子，当其返回基态时，使用原子发射光谱法（AES）测量其特征光谱。光谱中线条的强度与样品中元素的浓度成正比。

ICP-AES设备只能分析液态样品。对土壤样品和其他固体物质来说有点棘手。为解锁化学元素，需将样品溶解在强酸中：王水，一种盐酸和硝酸的混合物。泵将样品从储存容器中吸出，并将其输送到喷雾器，喷雾器将液体变成气溶胶形式或薄雾。为了准确调节雾的浓度，并在必要时进行稀释，在流量控制器的帮助下，向喷雾器提供氩气流。薄雾进入反应室，与已经在反应室中的等离子体碰撞。

如果将高压线圈通过气体，为气体提供足够的能量，一些气体就会释放电子。除了最初的气体粒子，现在还有负电子和带正电的离子的混合物。这种带电粒子的“电离气体混合物”被称为等离子体；等离子体被称为物质存在的第四种状态，除了固态、液态和气态。通过ICP，氩气形成等离子体的基础，必须使用流量控制器准确供应该气体。等离子体的温度非常高，约为700℃。由于等离子体必须始终保持正确的成分，所以氩气的准确和连续供应是重要的。为了保护外界免受高温影响，冷却气体（通常但不总是氩气）被引导到反应室外部。

调节薄雾

当含有待测化学元素的雾与等离子体碰撞时，这些元素也被转化成等离子体。吸收足够多的能量后，这些元素进入激发态。元素不喜欢处于激发态，所以它们试图以较低的能级回到基态。在这个转变过程中，每个元素发射出其特有的辐射。通过光谱仪测量辐射，辐射的强度与样品中所述元素的量成正比。