一、优等品
1:硅片表面光滑洁净。
2:TV:220±20μm。
3:几何尺寸:
边长125±0.5mm;对角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm;
边长103±0.5mm、对角135±0.5mm;
边长150±0.5mm 、156±0.5mm、对角203±0.5mm、200±0.5mm。
同心度:任意两个弧的弦长之差≤1mm。
垂直度:任意两边的夹角:90°±0.3。
二、合格品
一级品:
1:表面有少许污渍、轻微线痕。
2:220±20μm ≤TV≤220±30μm。
3:几何尺寸:
边长125±0.5mm;对角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm;
边长103±0.5mm、对角135±0.5mm;
边长150±0.5mm 、156±0.5mm、对角203±0.5mm、200±0.5mm。
同心度:任意两个弧的弦长之差≤1.2mm。
垂直度:任意两边的夹角:90°±0.5。
二级品:
1:表面有少许污渍、线痕、凹痕,轻微崩边。
2: 220±30μm ≤TV≤220±40μm。
3:凹痕:硅片表面凹痕之和≤30μm。
4:崩边范围:崩边口不是三角形状,崩边口长度≤1mm,深度≤0.5mm
5:几何尺寸:
边长125±0.52mm;对角150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm;
边长103±0.52mm、对角135±0.52mm;
边长150±0.52mm 、156±0.52mm、对角203±0.52mm、200±0.52mm。
同心度:任意两个弧的弦长之差≤1.5mm。
垂直度:任意两边的夹角:90°±0.8。
三级品:
1:表面有油污但硅片颜色不发黑,有线痕和硅落现象。
2:220±40μm ≤TV≤220±60μm。
3:硅落:整张硅片边缘硅晶脱落或部分硅晶脱落。
三、不合格品
严重线痕、厚薄片:TV>220±60μm。
崩边片:有缺损但可以改Φ103的硅片。
气孔片:硅片中间有穿孔 。
外形片:切方滚圆未能磨出的硅片。
倒角片(同心度):任意两个弧的弦长之差>1.5mm。
菱形片(垂直度):任意两边的夹角>90°±0.8。
凹痕片:硅片两面凹痕之和>30μm。
脏 片:硅片表面有严重污渍且发黄发黑。
尺寸偏差片:几何尺寸超过二级品的范围。
注:以上标准针对的硅片厚度为220μm。
08-31