电气比例阀作为先导阀结合真空背压阀和外置传感器实现低气压控制的考核试验

摘要：本文针对电气比例阀普遍缺乏外置传感器和无法实现闭环控制功能这一问题，提出了一种外置传感器和闭环控制解决方案，即在现有电气比例阀基础上，增加外置传感器和PID控制器，并由PID控制器调节电气比例阀，由此形成闭环控制回路。本文还介绍了采用此方案进行的真空度控制考核试验，考核试验证明通过外置真空计和真空背压阀，通过PID控制器调节电气比例阀可使真空度恒定控制的波动率小于0.5%，证明了此方案的可行性和准确性。

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一、背景介绍

电气比例阀作为一种典型双阀结构的压力调节阀，是根据内置传感器压力测量信号和设定信号之间的差值大小来调整进气阀和出气阀开启时间而达到调节压力的目标和要求。电气比例阀应用十分广泛，但由于电气比例阀仅适用于低压和小流量应用领域，所以电气比例阀常被用作先导阀以驱动各种压力放大器，如真空背压阀和高压背压阀，由此来满足工艺中对更高压力和更大流量的需求。
电气比例阀一般都集成了压力